PředmětyPředměty(verze: 837)
Předmět, akademický rok 2018/2019
   Přihlásit přes CAS
Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace - NEVF501
Anglický název: Low Temperature Plasma and Its Applications
Zajišťuje: Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP)
Fakulta: Matematicko-fyzikální fakulta
Platnost: od 2008
Semestr: zimní
E-Kredity: 3
Rozsah, examinace: zimní s.:2/0 Zk [hodiny/týden]
Počet míst: neomezen
Minimální obsazenost: neomezen
Stav předmětu: vyučován
Jazyk výuky: čeština
Způsob výuky: prezenční
Garant: doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc.
RNDr. Karel Rohlena, CSc.
Třída: DS, fyzika plazmatu a ionizovaných prostředí
Kategorizace předmětu: Fyzika > Fyzika povrchů a ionisovaných prostředí
Anotace -
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)
Kinetický popis plazmatu. Vlivy různých typů srážek na rozdělovací funkci elektronů. Nízkoteplotní plazma ve výboji. Vlivy různých procesů a složení. Plazmatické opracování povrchů a vytváření vrstev. Určeno pro doktorandské studium. Vyučováno v lichých kalendářních rocích.
Literatura
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)

Kracík J., Tobiáš J.: Fyzika plazmatu, Academia Praha 1966.

Raizer J. P.: Gas Discharge Physics, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, 1991.

Ricard A.: Reactive plasmas, Paris 1996.

Požadavky ke zkoušce
Poslední úprava: doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc. (12.10.2017)

Zkouška je ústní. Požadavky k jejímu složení odpovídají sylabu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. Z každého ze dvou tematických celků bude položena jedna otázka.

Sylabus -
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)
1. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu
Řešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron - elektron na rozdělovací funkci. Maxwellovo rozdělení, nemaxwellovská rozdělení. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech, srážková frekvence.

2. Výbojové nízkoteplotní plazma a jeho aplikace v technologiích
Plazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difúze, rekombinace, beta a gama procesů na tyto výboje. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy v plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy. Katodové naprašování (závislost na energii, materiálu a podmínkách na povrchu). Metody vytváření tenkých vrstev různých vlastností. Plazmatická polymerace a leptání, sterilizace. Modelování v plazmochemii.

 
Univerzita Karlova | Informační systém UK