PředmětyPředměty(verze: 850)
Předmět, akademický rok 2019/2020
   Přihlásit přes CAS
Základy přípravy a charakterizace tenkých vrstev - NBCM237
Anglický název: Introduction to deposition and characterization of thin films
Zajišťuje: Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF)
Fakulta: Matematicko-fyzikální fakulta
Platnost: od 2019
Semestr: letní
E-Kredity: 4
Rozsah, examinace: letní s.:1/2 Z+Zk [hodiny/týden]
Počet míst: neomezen
Minimální obsazenost: neomezen
Stav předmětu: vyučován
Jazyk výuky: čeština
Způsob výuky: prezenční
Garant: Mgr. Jan Hanuš, Ph.D.
doc. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D., Ph.D.
Anotace
Poslední úprava: Mgr. Hana Kudrnová (26.01.2018)
V rámci předmětu se studenti seznámí se základy přípravy tenkých vrstev s využitím nízkoteplotního plazmatu a s jejich charakterizací. Po teoretickém úvodu do problematiky bude výuka probíhat přímo v laboratořích KMF, kde se studenti seznámí s prací na automatizované depoziční aparatuře umožňující přípravu tenkých vrstev kovů, oxidů kovů a plazmových polymerů. Předmět má experimentální charakter.
Literatura
Poslední úprava: Mgr. Hana Kudrnová (26.01.2018)

[1] H. Biederman: Plasma Polymer Films. Imperial College Press, London 2004

[2] H. Biederman, Y.Osada: Plasma Polymerisation Processes. Elsevier, Amsterdam 1992

[3] M. Vůjtek, R. Kubínek, M. Mašláň: Nanoskopie, Univ. Palackého Olomouc 2012

[4] N. Fairley: CasaXPS Manual, www.casaxps.com

Sylabus
Poslední úprava: Mgr. Hana Kudrnová (26.01.2018)

1) Vymezení pojmů tenká vrstva, nízkoteplotní plazma, vakuum.

2) Úvod do problematiky vakuové depozice tenkých vrstev - napařování, magnetronové naprašování, reaktivní magnetronové naprašování, plazmová polymerace.

3) Měření optických vlastností a tlouštěk tenkých vrstev - spektroskopická elipsometrie

4) Metody chemické analýzy povrchů - XPS, FTIR, EDX

5) Zkoumání morfologie povrchů - AFM, SEM

6) Měření mechanických vlastností pomocí nonoindentace

7) Měření smáčivosti a povrchové energie

 
Univerzita Karlova | Informační systém UK