Diagnostika nízkoteplotního plazmatu - NBCM140

• Anglický název: Diagnostics methods of low-temperature plasma
• Zajišťuje: Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF)
• Fakulta: Matematicko-fyzikální fakulta
• Platnost: od 2010
• Semestr: letní
• E-Kredity: 3
• Rozsah, examinace: letní s.:2/0, Z [HT]
• Počet míst: neomezen
• Minimální obsazenost: neomezen
• 4EU+: ne
• Virtuální mobilita / počet míst pro virtuální mobilitu: ne
• Stav předmětu: vyučován
• Jazyk výuky: čeština
• Způsob výuky: prezenční
• Garant: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D.
• Vyučující: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D.

Anotace

čeština

V tomto semináři bude podán na konkrétních příkladech přehled diagnostických metod používaných pro určování základních parametrů plazmatu během depozice a úpravy povrchů.

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

angličtina

In the course of this seminar is going to be given on concrete examples an overview of diagnostics methods used for the evaluation of fundamental characteristics of discharges during deposition and modification of surfaces.

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

Cíl předmětu

čeština

Cílem předmětu je poskytnout posluchačům přehled metod diagnostiky plazmatu, a to jak s ohledem na jejich výhody, tak i limity jejich použitelnosti.

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

angličtina

The main aim of this lecture is to give students an overview of plasma diagnostics methods describing not only their advantages, but also their drawbacks and limitations.

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

Podmínky zakončení předmětu

čeština

Zápočet je udělován za systematickou účast na semináři a za vypracování referátu o jedné z vybraných diagnostických metod. Povaha kontroly studia předmětu vylučuje opravné termíny zápočtu.

Poslední úprava: Kylián Ondřej, doc. RNDr., Ph.D. (09.10.2017)

angličtina

Credit is awarded for systematic participation in the seminar and for writing a paper on one of the selected diagnostic methods. The nature of course control excludes corrective deadlines.

Poslední úprava: Kylián Ondřej, doc. RNDr., Ph.D. (11.06.2019)

Literatura

čeština

J. M. Hollas: Modern spectroscopy, J. Wiley, 2004

E.de Hoffmann, V. Stroobant: Mass Spectrometry. Principles and Applications, Wiley-Interscience, 2007

Poslední úprava: Kylián Ondřej, doc. RNDr., Ph.D. (10.05.2019)

Sylabus

čeština

Posluchač se během tohoto semináře seznámí se základy sondových, optických a korpuskulárních metod diagnostiky plazmatu, a to hlavně s ohledem na určování základních vlastností plazmatu během depozice a úpravy povrchů. Pozornost bude věnována zejména:

1) Určování koncentrací nabitých částic pomocí hmotnostní spektrometrie a sondových měření

2) Určování koncentrací neutrálních částic pomocí optických a korpuskulárních diagnostických metod

3) Určování energetického rozdělení částic ve výbojovém plazmatu

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

angličtina

Students will get basic of probe, optical and corpuscular plasma diagnostics methods with an emphasis given mainly to the evaluation of the fundamental characteristics of discharges during a deposition of modification of surfaces. The topic covered are:

1) Determination of densities of charged particles by mass spectrometry and probe methods

2) Determination of densities of neutral species by optical and corpuscular diagnostics methods

3) Evaluation of energetic distributions of charged particles

Determination of temperature of neutral species in the processing plasma.

Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)