PředmětyPředměty(verze: 806)
Předmět, akademický rok 2017/2018
   Přihlásit přes CAS
Diagnostika nízkoteplotního plazmatu - NBCM140
Anglický název: Diagnostics methods of low-temperature plasma
Zajišťuje: Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF)
Fakulta: Matematicko-fyzikální fakulta
Platnost: od 2010
Semestr: letní
E-Kredity: 3
Rozsah, examinace: letní s.:2/0 Z [hodiny/týden]
Počet míst: neomezen
Minimální obsazenost: neomezen
Stav předmětu: vyučován
Jazyk výuky: čeština
Způsob výuky: prezenční
Garant: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D.
Anotace -
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

V tomto semináři bude podán na konkrétních příkladech přehled diagnostických metod používaných pro určování základních parametrů plazmatu během depozice a úpravy povrchů.
Cíl předmětu -
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

Cílem předmětu je poskytnout posluchačům přehled metod diagnostiky plazmatu, a to jak s ohledem na jejich výhody, tak i limity jejich použitelnosti.

Sylabus -
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)

Posluchač se během tohoto semináře seznámí se základy sondových, optických a korpuskulárních metod diagnostiky plazmatu, a to hlavně s ohledem na určování základních vlastností plazmatu během depozice a úpravy povrchů. Pozornost bude věnována zejména:

1) Určování koncentrací nabitých částic pomocí hmotnostní spektrometrie a sondových měření

2) Určování koncentrací neutrálních částic pomocí optických a korpuskulárních diagnostických metod

3) Určování energetického rozdělení částic ve výbojovém plazmatu

 
Univerzita Karlova | Informační systém UK