Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace - NEVF501
|
|
|
||
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)
|
|
||
Poslední úprava: doc. RNDr. Jiří Pavlů, Ph.D. (14.06.2019)
Podmínkou zakončení předmětu je úspěšné složení zkoušky. |
|
||
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)
Kracík J., Tobiáš J.: Fyzika plazmatu, Academia Praha 1966. Raizer J. P.: Gas Discharge Physics, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, 1991. Ricard A.: Reactive plasmas, Paris 1996. |
|
||
Poslední úprava: doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc. (12.10.2017)
Zkouška je ústní. Požadavky k jejímu složení odpovídají sylabu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. Z každého ze dvou tematických celků bude položena jedna otázka. |
|
||
Poslední úprava: T_KEVF (18.05.2005)
Řešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron - elektron na rozdělovací funkci. Maxwellovo rozdělení, nemaxwellovská rozdělení. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech, srážková frekvence. 2. Výbojové nízkoteplotní plazma a jeho aplikace v technologiích Plazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difúze, rekombinace, beta a gama procesů na tyto výboje. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy v plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy. Katodové naprašování (závislost na energii, materiálu a podmínkách na povrchu). Metody vytváření tenkých vrstev různých vlastností. Plazmatická polymerace a leptání, sterilizace. Modelování v plazmochemii. |