Analýza plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie při depozičních plazmově polymeračních procesech

• Název práce v češtině: Analýza plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie ; při depozičních plazmově polymeračních procesech
• Název v anglickém jazyce: Analysis of plasma using optical emission spectroscopy ; during plasma polymerization deposition processes
• Klíčová slova: optická emisní spektroskopie, nanášení plazmových polymerů
• Klíčová slova anglicky: optical emission spectroscopy ,plasma polymerization deposition
• Akademický rok vypsání: 2010/2011
• Typ práce: disertační práce
• Ústav: Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF)
• Vedoucí / školitel: Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D.
• Řešitel: skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd.
• Datum přihlášení: 12.10.2010
• Datum zadání: 12.10.2010
• Konzultanti: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D.

Zásady pro vypracování

Při studiu a optimalizaci tenkých plazmově polymerních vrstev je třeba sledovat i složení a parametry procesního plazmatu. Jednou z nejrozšířenějších metod diagnostiky plazmatu je optická emisní spektroskopie, která je vhodná i pro sledování časově proměnných dějů přímo během procesu depozice tenkých vrstev. Optická spektra obsahují velké množství informací, ale díky komplexnosti dějů v plazmově polymeračním plazmatu je aplikace některých metod interpretace naměřených dat často obtížná.
Cílem práce bude najít optimální postupy při aplikaci metod optické emisní spektroskopie ke stanovení složení a parametrů plazmatu a pro řízení depozičního procesu s ohledem na žádoucí složení vrstev. Vybrané postupy budou upraveny na vyhodnocení dat přímo během procesu plazmové polymerace. Parametry plazmatu získané metodou optické emisní spektroskopie budou porovnávány s výsledky dalších metod analýzy plazmatu i s parametry plazmově polymerních vrstev, zejména při studiu počátečních stádií jejich růstu.

Seznam odborné literatury

1. Plasma polymer films, ed. H. Biederman, Imperial College Press, London 2004
2. H. Yasuda: Plasma polymerization, Academic Press, Orlando, 1985
3. H. Biederman, Y. Osada: Plasma polymerization processes, Elsevier, Amsterdam, 1992