A study of diagnostic systems for plasma sources designed for deposition of thin films (with an applicaton in plasma chemistry)
| Název práce v češtině: | Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev ( s aplikací v plazmochemii) |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | A study of diagnostic systems for plasma sources designed for deposition of thin films (with an applicaton in plasma chemistry) |
| Akademický rok vypsání: | 2004/2005 |
| Typ práce: | disertační práce |
| Jazyk práce: | angličtina |
| Ústav: | Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP) |
| Vedoucí / školitel: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Řešitel: | skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd. |
| Datum přihlášení: | 01.10.2004 |
| Datum zadání: | 01.10.2004 |
| Datum a čas obhajoby: | 11.01.2010 09:00 |
| Datum odevzdání elektronické podoby: | 11.01.2010 |
| Datum proběhlé obhajoby: | 11.01.2010 |
| Oponenti: | RNDr. Jaroslav Pavlík, CSc. |
| prof. RNDr. Hynek Biederman, DrSc. | |
| Doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D. | |