Studium použití Curling sondy pro technologické plazma
| Název práce v češtině: | Studium použití Curling sondy pro technologické plazma |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Study of the use of Curling probe for technological plasma |
| Akademický rok vypsání: | 2023/2024 |
| Typ práce: | bakalářská práce |
| Jazyk práce: | |
| Ústav: | Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP) |
| Vedoucí / školitel: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Řešitel: | skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd. |
| Datum přihlášení: | 09.11.2023 |
| Datum zadání: | 30.11.2023 |
| Datum potvrzení stud. oddělením: | 04.12.2023 |
| Konzultanti: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Zásady pro vypracování |
| 1. Rešerše literatury
2. Návrh Curling sondy pro její výrobu 3. Proměření vlastností mimo plazma 4. Měření sondou ve výbojovém plazmatu |
| Seznam odborné literatury |
| Chen Francis F.: Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha 1984.
Martišovitš V.: Základy fyziky plazmy, Univerzita Komenského, Fakulta matematiky, fyziky a informatiky, Bratislava 2004. Sugai H., Nakamura K.: Recent innovations in microwave probes for reactive plasma diagnostics, Jpn. J. Appl. Phys. 58 060101, 2019, DOI 10.7567/1347-4065/ab1a43. Další literatura po dohodě s vedoucím a konzultantem práce. |
| Předběžná náplň práce |
| Curling sonda je plochý vysokofrekvenční rezonátor tvaru vodivé spirály na dielektrickém substrátu. Princip měření spočívá v posunu rezonanční frekvence sondy při změně permitivity prostředí v prostoru před sondou. Je-li sonda vložena do plazmatu, lze ze změny její rezonanční frekvence vypočítat permitivitu a z ní koncentraci plazmatu. Konstrukční rezonanční frekvence Curling sondy však omezuje největší měřitelnou koncentraci plazmatu. Cílem práce je navrhnout a vyzkoušet Curling sondu s pracovní frekvencí blíže k limitu běžně dostupných vysokofrekvenčních generátorů 3 GHz. |
| Předběžná náplň práce v anglickém jazyce |
| A Curling probe is a flat high-frequency resonator shaped like a conducting spiral on a dielectric substrate. The principle of measurement is to shift the resonant frequency of the probe as the permittivity of the environment in front of the probe changes. If the probe is embedded in a plasma, the change of its resonant frequency can be used to calculate the permittivity and, from this, the density of the plasma. However, the design resonant frequency of the Curling probe limits the largest measurable plasma density. The aim of this work is to design and test a Curling probe with a working frequency closer to the limit of commonly available high frequency generators of 3 GHz. |