Depoziční magnetronové popřípadě tryskové plazmatické systémy pracující krátkými výkonovými pulsy mají v současnosti proti stejnosměrně pracujícím nevýhodu ve významně nižší depoziční rychlosti. Výzkum těchto systémů je v poslední době směřován k úpravě parametrů výkonových pulsů jako tvaru popřípadě opakování pulsů apod. s cílem zachovat výhodné vlastnosti pulsního systému, ale zvýšit depoziční rychlost. Pro to je nezbytná detailní diagnostika parametrů plazmatu včetně deponovaných vrstev.
Seznam odborné literatury
U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, et al., Thin Solid Films 513 (2006) 1–24.
Další literatura dle dohody se školitelem.
Předběžná náplň práce
Depoziční magnetronové popřípadě tryskové plazmatické systémy pracující krátkými výkonovými pulsy mají v současnosti proti stejnosměrně pracujícím nevýhodu ve významně nižší depoziční rychlosti. Výzkum těchto systémů je v poslední době směřován k úpravě parametrů výkonových pulsů jako tvaru popřípadě opakování pulsů apod. s cílem zachovat výhodné vlastnosti pulsního systému, ale zvýšit depoziční rychlost. Pro to je nezbytná detailní diagnostika parametrů plazmatu včetně deponovaných vrstev.
- zadáno a potvrzeno stud. odd.