Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
| Název práce v češtině: | Sondové metody pro diagnostiku plazmatických systémů pro depozice tenkých vrstev |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films |
| Klíčová slova: | plovoucí harmonická sonda, plazmatická tryska, reaktivní naprašování, pulzní výboj, in-situ impedanční spektroskopie |
| Klíčová slova anglicky: | floating harmonic probe, plasma jet, reactive sputtering, pulsed discharge, in-situ impedance spectroscopy |
| Akademický rok vypsání: | 2015/2016 |
| Typ práce: | disertační práce |
| Jazyk práce: | angličtina |
| Ústav: | Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP) |
| Vedoucí / školitel: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Řešitel: | Mgr. Michal Zanáška, Ph.D. - zadáno a potvrzeno stud. odd. |
| Datum přihlášení: | 25.09.2015 |
| Datum zadání: | 25.09.2015 |
| Datum potvrzení stud. oddělením: | 02.10.2015 |
| Datum a čas obhajoby: | 31.05.2019 09:15 |
| Datum odevzdání elektronické podoby: | 28.03.2019 |
| Datum odevzdání tištěné podoby: | 28.03.2019 |
| Datum proběhlé obhajoby: | 31.05.2019 |
| Oponenti: | Pavel Dvořák |
| doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D. | |
| Konzultanti: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. | |
| Zásady pro vypracování |
| Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. |
| Seznam odborné literatury |
| Bittencourt J.A., Fundamentals of Plasma Physics, Springer, New York, 2004, ISBN 0-387-20975-1.
Hutchinson I.H., Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, 2002, ISBN 0-521-80389-6. Lieberman, M.A., Lichtenberg, A.J., Principles of plasma discharges and material processing, Wiley-Interscience, ISBN 0-471-72001-1. Další, převážně časopisecká literatura, podle dohody s vedoucím práce. |
| Předběžná náplň práce |
| Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik.
http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dis-abs.php?id=313 |
| Předběžná náplň práce v anglickém jazyce |
| http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dis-abs.php?id=313 |