Optická emisní spektroskopie nízkotlakého plazmově polymeračního zdroje
| Název práce v češtině: | Optická emisní spektroskopie nízkotlakého plazmově polymeračního zdroje |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Optical emission spectroscopy of low pressure plasma polymerization source |
| Akademický rok vypsání: | 2009/2010 |
| Typ práce: | diplomová práce |
| Jazyk práce: | |
| Ústav: | Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF) |
| Vedoucí / školitel: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Řešitel: |
| Zásady pro vypracování |
| - |
| Seznam odborné literatury |
| - |
| Předběžná náplň práce |
| Procesy plazmové polymerace většinou probíhají za tlaků nad 1 Pa. V některých typech
plazmových zdrojů však lze deponovat vrstvy i za tlaků <0,1 Pa, kdy už je proudění plynu téměř bezsrážkové. Cílem práce je část charakterizace nízkotlakého depozičního zdroje plazmatu vyvinutého pro účely směrové depozice vrstev. Student se bude podílet na měření a vyhodnocení optických emisních spekter plazmatu. Práce má experimentální charakter. |