Studium tenkých vrstev metodou rentgenové reflexe

• Název práce v češtině: Studium tenkých vrstev metodou rentgenové reflexe
• Název v anglickém jazyce: Study of thin films by means of x-ray reflectivity
• Akademický rok vypsání: 2007/2008
• Typ práce: bakalářská práce
• Jazyk práce: čeština
• Ústav: Katedra fyziky kondenzovaných látek (32-KFKL)
• Vedoucí / školitel: doc. RNDr. Stanislav Daniš, Ph.D.
• Řešitel: skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd.
• Datum přihlášení: 16.11.2007
• Datum zadání: 19.11.2007
• Datum a čas obhajoby: 16.09.2008 00:00
• Datum odevzdání elektronické podoby: 16.09.2008
• Datum proběhlé obhajoby: 16.09.2008
• Oponenti: prof. RNDr. Václav Holý, CSc.

Zásady pro vypracování

1. Seznámení s teorií kinematického rozptylu rtg.záření a rtg.reflektivitou
2. Seznámení s experimentálním uspořádáním vhodným k měření rtg.reflektivity tenkých vrstev
3. Měření testovacích vzorků (Cr/sklo, rtg.zrcadlo), vyhodnocení exp.dat, popř. vylepšení stávajícího software
4. Měření a analýza tenkých vrstev TiO2, popř. polovodičových epitaxních vrstev
5. Diskuse výsledků, sepsání bakalářské práce

Seznam odborné literatury

1. Tolan, M., X-Ray & Neutron Reflectivity, přednáška v rámci školy Hercules, elektronická verze
2. Pietsch,U., Holý, V., Baumbach, T., High-Resolution X-Ray Scattering: From Thin Films to Lateral Nanostructures (Advanced Texts in Physics), Springer 2nd ed. edition (August 27, 2004)
3. Sinha,S.K, Sirota, E.B., Garoff, S, Stanley,H.B., X-Ray and neutron scattering from rough surfaces, Physical Review B, Vol.38, p.2297 (1988)
4. články v odborné literatuře

Předběžná náplň práce

Polovodičový průmysl již mnoho let používá technologii tenkých vrstev k výrobě nejrůznějších elektronických prvků - od jednoduchých P-N přechodů v diodách až po složité multivrstvy a heterostruktury v polovodičových laserech. Kvalita těchto struktur je určující pro jejich elektrické, resp. transportní, vlastnosti. Jednou z metod, jakými můžeme experimentálně studovat strukturu tenké vrstvy je rentgenová reflektometrie.
Práce je zaměřena na experiment i na teorii. Požadují se základní znalosti optiky v rozsahu základních přednášek. Během řešení bude zájemce provádět měření na rtg. difraktometru a naměřená data porovná s teorií. Výhodou je alespoň základní znalost programování (v kterémkoli programovacím jazyce). Práce je vhodná i pro uchazeče o magisterské studium.