Úprava aparatury na žíhání vzorků pro žíhání polovodičů v plynném a kapalném médiu.
Název práce v češtině: | Úprava aparatury na žíhání vzorků pro žíhání polovodičů v plynném a kapalném médiu. |
---|---|
Název v anglickém jazyce: | Rebuilding of the annealing equipment for annealing of semiconductors at gaseous and liquid medium. |
Akademický rok vypsání: | 2005/2006 |
Typ práce: | projekt |
Jazyk práce: | |
Ústav: | Fyzikální ústav UK (32-FUUK) |
Vedoucí / školitel: | doc. Ing. Eduard Belas, CSc. |
Řešitel: |
Zásady pro vypracování |
1. Seznámit se s základními principy stavby odporových pecí.
2. Seznámit se s základními principy termoregulace. 3. Provést testovací měření teplotního gradientu pece a nastavení optimálních podmínek žíhání vzorků. 4. Optimalizovat tvar ampule pro žíhání v závislosti na gradientu pece a typu média. |
Předběžná náplň práce |
Práce je zaměřena na úpravu aparatury na žíhání vzorků a výzkum optimálních podmínek žíhání, které povedou k homogennímu rozložení teplotního pole. |