Měření propustnosti tenké ITO desky
| Název práce v češtině: | Měření propustnosti tenké ITO desky |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Transmittance measurement of thin ITO film |
| Akademický rok vypsání: | 2016/2017 |
| Typ práce: | projekt |
| Jazyk práce: | čeština |
| Ústav: | Fyzikální ústav UK (32-FUUK) |
| Vedoucí / školitel: | prof. Ing. Jan Franc, DrSc. |
| Řešitel: |
| Zásady pro vypracování |
| Zásady pro vypracování:
1. Prostudovat literaturu o vlastnostech ITO 2. Seznámit se s měřením pomocí Fourierovského spektrometru 3. Naměřit propustnost ITO desky používané v zařízení COREMA 4. Nakalibrovat světelné zdroje na konstantní fotonový tok při měření bezkontaktní fotovodivosti |
| Seznam odborné literatury |
| Seznam odborné literatury:
1. R. Stibal, J. Windscheif, W. Jantz, Contactless evaluation of semiinsulating GaAs wafer resistivity using time-dependent charge measurements, Semicond. Sci. Technol. 6, 995 (1991). 2. P. Malý, Optika, Nakladatelství Karolinum, Praha 2008 |
| Předběžná náplň práce |
| Tenké filmy polovodičového materiálu ITO ( oxid india a cínu) mají výhodu, že jsou ve viditelném spektru průhledné a přesto vodivé. Propustnost materiálu závisí na jeho tloušťce. Cílem projektu je naměřit propustnost desky používané v zařízení na měření bezkontaktní fotovodivosti COREMA. Tenký film ITO napařený na skleněné podložce je zde využíván jako světelně propustná elektroda kapacitního měření. Pro měření fotovodivosti jsou používány světelné zdroje jak ve viditelné, tak v blízké infračervené části spektra. Proto je nutno změřit propustnost elektrody a kalibrovat výkon zdrojů tak, aby na měřený vzorek dopadal vždy konstantní počet fotonů. |