Konstrukce a testování kombinovaného Si/Ge vypařovadla
| Název práce v češtině: | Konstrukce a testování kombinovaného Si/Ge vypařovadla |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Construction and testing of combined Si-Ge evaporator |
| Akademický rok vypsání: | 2011/2012 |
| Typ práce: | projekt |
| Jazyk práce: | |
| Ústav: | Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP) |
| Vedoucí / školitel: | doc. RNDr. Pavel Kocán, Ph.D. |
| Řešitel: | skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd. |
| Datum přihlášení: | 11.11.2011 |
| Datum zadání: | 29.11.2011 |
| Datum potvrzení stud. oddělením: | 29.11.2011 |
| Zásady pro vypracování |
| Cílem práce bude návrh a konstrukce dvojitého vypařovadla pro
materiály Si a Ge. V rámci práce budou vypařovadla testována ve vakuu, bude okalibrována jejich depoziční rychlost a změřena jejich směrová charakteristika. Dále bude realizováno a testováno tepelné stínění vypařovadel. Následně budou vypařovadla instalována v UHV aparatuře a testována pro epitaxi na povrchu Si(111). Přesné zásady pro vypracování budou stanoveny po konzultaci se zájemcem. |
| Seznam odborné literatury |
| Seznam literatury bude upřesněn po konzultaci. |