Hmotnostní spektrometrie chemicky aktivního plazmatu

• Název práce v češtině: Hmotnostní spektrometrie chemicky aktivního plazmatu
• Název v anglickém jazyce: Mass spectrometry of processing plasma
• Akademický rok vypsání: 2009/2010
• Typ práce: bakalářská práce
• Jazyk práce: čeština
• Ústav: Katedra makromolekulární fyziky (32-KMF)
• Vedoucí / školitel: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D.
• Řešitel: skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd.
• Datum přihlášení: 29.10.2009
• Datum zadání: 29.10.2009
• Datum a čas obhajoby: 22.06.2010 00:00
• Datum odevzdání elektronické podoby: 22.06.2010
• Datum proběhlé obhajoby: 22.06.2010
• Oponenti: prof. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.

Zásady pro vypracování

1) Seznámit se s přípravou polymerních vrstev magnetronovým naprašováním
2) Seznámit se s metodou hmotnostní spektrometrie
3) Změřit a zpracovat hmotnostní spektra nabitých i neutrálních částic v závislosti na vybraných parametrech výboje

Seznam odborné literatury

Plasma Polymer Films, H. Biederman (editor), 2004, World Scientific Publishing Company

Předběžná náplň práce

Nízkoteplotní plazma se v současné době používá pro depozici tenkých polymerních vrstev s unikátními vlastnostmi, např. vrstev, které usnadňují, či naopak zamezují adsorbci různých biomolekul, vrstev ovlivňujících diferenciaci kmenových buňek, popřípadě vrstev majících superhydrofobní charakter či vhodné fotovoltaické vlastnosti. Výsledné vlastnosti deponovaných polymerních vrstev samozřejmě závisí na mnoha parametrech, jako je geometrie depozičního systému, složení pracovního plynu, způsob dodání výchozího polymeračního materiálu, pracovní tlak nebo výkon dodaný systému. Všechny tyto parametry zásadním způsobem mění složení plazmatu i energetické rozdělení částic podílejících se na růstu polymerní vrstvy a následně i rychlost depozice, morfologii vrstev a jejich chemické složení. Z tohoto důvodu je pro pochopení depozičního procesu a jeho optimalizaci zásadní určit vlastnosti použitého plazmatu. Jednou z nejpoužívanějších metod je hmotnostní spektrometrie, která umožňuje detekovat v plazmatu vznikající neutrální i ionizované molekulární fragmenty.

Cílem práce je jednak se seznámit s touto diagnostickou metodou, jednak její aplikace pro určování složení plazmatu během procesu tvorby plazmově polymerních vrstev magnetronovým naprašováním polymerních terčů pro různé parametry výboje.