Charakterizace periodických nanostruktur pomocí spektroskopických metod
Název práce v češtině: | Charakterizace periodických nanostruktur pomocí spektroskopických metod |
---|---|
Název v anglickém jazyce: | Characterization of periodical nanostructures by spectroscopical methods |
Akademický rok vypsání: | 2011/2012 |
Typ práce: | bakalářská práce |
Jazyk práce: | čeština |
Ústav: | Fyzikální ústav UK (32-FUUK) |
Vedoucí / školitel: | RNDr. Martin Veis, Ph.D. |
Řešitel: | |
Konzultanti: | RNDr. Roman Antoš, Ph.D. |
Zásady pro vypracování |
Periodické nanostruktury jsou dnes v popředí zájmu díky jejich významným aplikacím v integrované optice. Vzhledem ke stále větším požadavkům na miniaturizaci těchto zařízení rostou i požadavky na kvalitu technologie jejich výroby. K posouzení kvality připravených nanostruktur je vyžadováno sofistikovaných charakterizačních metod. Pokud se jedná o nanostruktury vyrobené z magnetických materiálů, magnetooptická spektroskopie v kombinaci se spektroskopickou elipsometrií se jeví jako velmi vhodná kombinace. Tato kombinace umožňuje detekovat s vysokou citlivostí geometrické a materiálové parametry stranově i hloubkově strukturovaných periodických systémů. Srovnáním naměřených dat s teoretickými modely lze získat informaci jak o tenzoru permitivity daného materiálutak i o laterálních rozměrech paternovaných elementů. To umožňuje charakterizovat kvalitu zkoumaných nanostruktur.
Náplní této práce je charakteristika geometrických parametrů vybraných magnetických mřížek (připravených litografickými procesy) metodami spektroskopické elipsometrie a magneto-optické spektroskopie. K interpretaci naměřených výsledků poslouží srovnání s teoretickým modelem. Tato práce proto kombinuje experiment s jednoduchými teoretickými výpočty. Sudentovi bude poskytnut systematický úvod do potřebné teorie i experimentu. Více informací na: veis@karlov.mff.cuni.cz |
Seznam odborné literatury |
R. M. A. Azzam, N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light, North-Holland, Amsterdam / New York / Oxford 1977.
Š. Višňovský, Optics in Magnetic Multilayers and Nanostructures, CRC Taylor & Francis, Boca Raton 2006. W. Chew, Waves and fields in inhomogenous media, IEEE Press, 1995 |