velikost textu

Impulsní plazmatické systémy

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Název:
Impulsní plazmatické systémy
Název v angličtině:
Pulsed plasma systems
Typ:
Disertační práce
Autor:
Mgr. Jan Klusoň, Ph.D.
Školitel:
doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Oponenti:
Doc. RNDr. František Krčma, Ph.D.
Mgr. Martin Čada, Ph.D.
Id práce:
59985
Fakulta:
Matematicko-fyzikální fakulta (MFF)
Pracoviště:
Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP)
Program studia:
Fyzika (P1701)
Obor studia:
Fyzika plazmatu a ionizovaných prostředí (4F2)
Přidělovaný titul:
Ph.D.
Datum obhajoby:
19. 6. 2013
Výsledek obhajoby:
Prospěl/a
Jazyk práce:
Čeština
Klíčová slova:
plazmová tryska, magnetron, pulzní režim, Langmuirova sonda
Klíčová slova v angličtině:
plasma jet, magnetron, pulse regime, Langmuir probe
Abstrakt:
Disertační práce se zabývá experimentálním studiem nízkoteplotního plazmatu určeného k přípravě tenkých vrstev metodou fyzikálního naprašování. Popisuje měření, která byla realizována na dvou typech zařízení – na systému nízkotlaké plazmové trysky a na rovinném magnetronu. Hlavní téma práce představuje diagnostika plazmatu při pulzním režimu buzení výboje. Výboj nízkotlaké plazmové trysky byl studován prostřednictvím elektrostatické Langmuirovy sondy, v případě planárního magnetronu byla provedena hmotnostní spektroskopie s energetickým i časovým rozlišením. K porozumění výsledkům dosaženým v pulzně generovaném plazmatu je nezbytná dobrá znalost základního režimu výboje, jímž je kontinuální stejnosměrný režim. Významná část práce je proto věnována právě kontinuálnímu stejnosměrnému režimu výboje. V případě nízkotlaké plazmové trysky je pozornost zaměřena i na charakteristickou vlastnost daného plazmového zdroje, kterou je proudění z trysky.
Abstract v angličtině:
The doctoral thesis deals with the experimental study of the low-temperature plasma designated for the preparation of thin films using the method of physical sputtering. It describes measurements which were realized on two types of devices – on the low-pressure plasma jet sputtering system and on the planar magnetron. The plasma diagnostics in the discharge excited in the pulse regime represent the main theme of the thesis. The discharge in the low-pressure plasma jet was studied by means of an electrostatic Langmuir probe, in the case of the planar magnetron, mass spectroscopy with energetic as well as time resolution was used. To understand the results achieved in the pulse generated plasma good knowledge of the basic continuous DC regime of the discharge excitation is essential. Therefore a considerable part of the thesis deals purely with the continuous DC discharge. In the case of the low- pressure plasma jet, the attention was focused also on the characteristic property of this plasma source, which is the flow from the jet.
Dokumenty
Stáhnout Dokument Autor Typ Velikost
Stáhnout Text práce Mgr. Jan Klusoň, Ph.D. 4.34 MB
Stáhnout Abstrakt v českém jazyce Mgr. Jan Klusoň, Ph.D. 65 kB
Stáhnout Abstrakt anglicky Mgr. Jan Klusoň, Ph.D. 63 kB
Stáhnout Posudek vedoucího doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. 87 kB
Stáhnout Posudek oponenta Doc. RNDr. František Krčma, Ph.D. 107 kB
Stáhnout Posudek oponenta Mgr. Martin Čada, Ph.D. 369 kB
Stáhnout Záznam o průběhu obhajoby prof. RNDr. Jana Šafránková, DrSc. 125 kB