text size

Výroba, tepelné zpracování a charakterizace tenkých vrstev slitin NiTi

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Title:
Výroba, tepelné zpracování a charakterizace tenkých vrstev slitin NiTi
Titile (in english):
Fabrication, heat treatment and characterization of thin layer NiTi alloys
Type:
Dissertation
Author:
Mgr. Michal Svatuška, Ph.D.
Supervisor:
Ing. David Vokoun, CSc.
Opponents:
RNDr. Antonín Dlouhý, CSc.
doc. Ing. Pavel Novák, Ph.D.
Thesis Id:
44565
Faculty:
Faculty of Mathematics and Physics (MFF)
Department:
Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i. (32-FZUAV)
Study programm:
Physics (P1701)
Study branch:
Physics of Condensed Matter and Materials Research (4F3)
Degree granted:
Ph.D.
Defence date:
21/09/2016
Defence result:
Pass
Language:
Czech
Keywords (in czech):
tenké filmy slitin NiTi, magnetronové naprašování, pulzní laserová depozice, rezistometrie, NiTi-polyimid
Keywords:
thin films of NiTi alloys, magnetron sputtering, pulsed-laser deposition, resistometry, NiTi-polyimid
Abstract (in czech):
Abstrakt: Slitiny NiTi s přibližně ekviatomárním chemickým složením jsou nej- studovanější a nejvíce prakticky využívané materiály ze skupiny slitin s tvarovou pamětí (SMA). Slitina NiTi má termoelastickou martensitickou transformaci (MT), na které jsou založené její dvě nejvýznamnější vlastnosti: tvarová paměť a su- perelasticita. Tenké filmy slitin NiTi o tloušťkách od stovek nm po jednotky µm mají široké uplatnění hlavně v mikroelektromechanických systémech (MEMS). Dizertační práce se zabývá výrobou tenkých filmů NiTi nanášením na křemíkové substráty pomocí dvou technik - magnetronového naprašování a pulzní laserové depozice (PLD), vyšetřováním jejich mikrostruktury pomocí rentgenové difrakce, tepelným zpracováním amorfních NiTi filmů a ověřením MT pomocí rezistome- trie. Kromě toho jsou studovány termomechanické vlastnosti systému NiTi- polyimid (NiTi-PI), zejména závislost poloměru křivosti dvojvrstvy NiTi-PI na teplotě. 1
Abstract:
Abstract: NiTi alloys with nearly equiatomic chemical composition are the most studied and the most practically utilized materials from the group of the shape memory alloys (SMA). The NiTi alloy has a thermoelastic martensitic transfor- mation (MT), which its two most important properties are based on: the shape memory and the superelasticity. Thin films of NiTi alloys with thicknesses from hundreds of nm to units of µm have a wide use mainly in microelectromechanical systems (MEMS). The doctoral thesis deals with a fabrication of thin NiTi films using a deposition on silicon substrates with two techniques – the magnetron sputtering and the pulsed-laser deposition (PLD), an investigation of their mi- crostructure using x-ray diffraction, a heat treatment of amorphous NiTi films and with a verification of MT using resistometry. Furthermore, thermomechan- ical properties of a system NiTi-polyimide (NiTi-PI), namely a dependence of a curvature radius of a NiTi-PI bilayer on temperature, are studied. 1
Documents
Download Document Author Type File size
Download Text of the thesis Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 6.44 MB
Download Abstract in czech Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 12 kB
Download Abstract in english Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 12 kB
Download Supervisor's review Ing. David Vokoun, CSc. 77 kB
Download Opponent's review RNDr. Antonín Dlouhý, CSc. 566 kB
Download Opponent's review doc. Ing. Pavel Novák, Ph.D. 221 kB
Download Defence's report prof. RNDr. Helena Štěpánková, CSc. 213 kB