velikost textu

Výroba, tepelné zpracování a charakterizace tenkých vrstev slitin NiTi

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Název:
Výroba, tepelné zpracování a charakterizace tenkých vrstev slitin NiTi
Název v angličtině:
Fabrication, heat treatment and characterization of thin layer NiTi alloys
Typ:
Disertační práce
Autor:
Mgr. Michal Svatuška, Ph.D.
Školitel:
Ing. David Vokoun, CSc.
Oponenti:
RNDr. Antonín Dlouhý, CSc.
doc. Ing. Pavel Novák, Ph.D.
Id práce:
44565
Fakulta:
Matematicko-fyzikální fakulta (MFF)
Pracoviště:
Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i. (32-FZUAV)
Program studia:
Fyzika (P1701)
Obor studia:
Fyzika kondenzovaných látek a materiálový výzkum (4F3)
Přidělovaný titul:
Ph.D.
Datum obhajoby:
21. 9. 2016
Výsledek obhajoby:
Prospěl/a
Jazyk práce:
Čeština
Klíčová slova:
tenké filmy slitin NiTi, magnetronové naprašování, pulzní laserová depozice, rezistometrie, NiTi-polyimid
Klíčová slova v angličtině:
thin films of NiTi alloys, magnetron sputtering, pulsed-laser deposition, resistometry, NiTi-polyimid
Abstrakt:
Abstrakt: Slitiny NiTi s přibližně ekviatomárním chemickým složením jsou nej- studovanější a nejvíce prakticky využívané materiály ze skupiny slitin s tvarovou pamětí (SMA). Slitina NiTi má termoelastickou martensitickou transformaci (MT), na které jsou založené její dvě nejvýznamnější vlastnosti: tvarová paměť a su- perelasticita. Tenké filmy slitin NiTi o tloušťkách od stovek nm po jednotky µm mají široké uplatnění hlavně v mikroelektromechanických systémech (MEMS). Dizertační práce se zabývá výrobou tenkých filmů NiTi nanášením na křemíkové substráty pomocí dvou technik - magnetronového naprašování a pulzní laserové depozice (PLD), vyšetřováním jejich mikrostruktury pomocí rentgenové difrakce, tepelným zpracováním amorfních NiTi filmů a ověřením MT pomocí rezistome- trie. Kromě toho jsou studovány termomechanické vlastnosti systému NiTi- polyimid (NiTi-PI), zejména závislost poloměru křivosti dvojvrstvy NiTi-PI na teplotě. 1
Abstract v angličtině:
Abstract: NiTi alloys with nearly equiatomic chemical composition are the most studied and the most practically utilized materials from the group of the shape memory alloys (SMA). The NiTi alloy has a thermoelastic martensitic transfor- mation (MT), which its two most important properties are based on: the shape memory and the superelasticity. Thin films of NiTi alloys with thicknesses from hundreds of nm to units of µm have a wide use mainly in microelectromechanical systems (MEMS). The doctoral thesis deals with a fabrication of thin NiTi films using a deposition on silicon substrates with two techniques – the magnetron sputtering and the pulsed-laser deposition (PLD), an investigation of their mi- crostructure using x-ray diffraction, a heat treatment of amorphous NiTi films and with a verification of MT using resistometry. Furthermore, thermomechan- ical properties of a system NiTi-polyimide (NiTi-PI), namely a dependence of a curvature radius of a NiTi-PI bilayer on temperature, are studied. 1
Dokumenty
Stáhnout Dokument Autor Typ Velikost
Stáhnout Text práce Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 6.44 MB
Stáhnout Abstrakt v českém jazyce Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 12 kB
Stáhnout Abstrakt anglicky Mgr. Michal Svatuška, Ph.D. 12 kB
Stáhnout Posudek vedoucího Ing. David Vokoun, CSc. 77 kB
Stáhnout Posudek oponenta RNDr. Antonín Dlouhý, CSc. 566 kB
Stáhnout Posudek oponenta doc. Ing. Pavel Novák, Ph.D. 221 kB
Stáhnout Záznam o průběhu obhajoby prof. RNDr. Helena Štěpánková, CSc. 213 kB