velikost textu

Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Název:
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Název v češtině:
Sondové metody pro diagnostiku plazmatických systémů pro depozice tenkých vrstev
Typ:
Disertační práce
Autor:
Bc. Michal Zanáška
Školitel:
prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Oponenti:
Pavel Dvořák
doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D.
Konzultanti:
doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D.
Id práce:
164180
Fakulta:
Matematicko-fyzikální fakulta (MFF)
Pracoviště:
Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP)
Program studia:
Fyzika (P1701)
Obor studia:
Fyzika plazmatu a ionizovaných prostředí (4F2)
Přidělovaný titul:
Ph.D.
Datum obhajoby:
31. 5. 2019
Výsledek obhajoby:
Prospěl/a
Jazyk práce:
Angličtina
Klíčová slova:
plovoucí harmonická sonda, plazmatická tryska, reaktivní naprašování, pulzní výboj, in-situ impedanční spektroskopie
Klíčová slova v angličtině:
floating harmonic probe, plasma jet, reactive sputtering, pulsed discharge, in-situ impedance spectroscopy
Abstrakt:
Tato disertační práce se zabývá experimentálním studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivního naprašování. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucí harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měření iontové koncentrace a elektronové teploty v nízkoteplotním technolo- gickém plazmatu. Běžně je používána klasická Langmuirova sonda, ale její použití v podmínkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřící metoda plovoucí harmonické sondy řeší tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měření plovoucí harmonickou sondou jsou porovnány s měřením Langmuirovou sondou při nereaktivních podmínkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena její funkčnost i během reaktivních podmínek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucí harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulzních výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocí této metody může být určena kapacita a vodivost tenkých vrstev do frekvencí v řádu několika kHz přímo v průběhu depozice. Tato nová metoda může být využita pro určení dielekterických vlastností tenkých vrstev nebo může být vhodná ke studiu a kontrole depozičních procesů.
Abstract v angličtině:
The doctoral thesis deals with an experimental study of several diagnostic techniques intended for plasma diagnostics and diagnostics of thin films during reactive sputter deposition. A relatively novel probe diagnostic technique called Floating harmonic probe for measurement of the ion density and electron tem- perature in technological low-temperature plasma is studied. A Langmuir probe is commonly used, however, its application in conditions where non-conducting films are being deposited can be problematic or unreliable. The floating harmonic probe measurement technique deals with this inherent problem of the Langmuir probe. The Floating harmonic probe results are compared to those obtained by a classical Langmuir probe in non-reactive DC continuously driven discharge, and its applicability in reactive regime during deposition of iron oxide thin films is proved. The work deals also with a modification of the Floating harmonic probe called Phase Delay Harmonic Analysis Method which is intended for diagnostics of pulsed driven discharges. The second part of the thesis is devoted to a new proposed method for in-situ diagnostics of thin films. This method monitors the capacitance and resistance of a thin film during deposition up to the frequencies in the kHz range. This new method could be used for diagnostics of dielectric properties of thin films or could be suitable for studying or control of reactive deposition processes.
Dokumenty
Stáhnout Dokument Autor Typ Velikost
Stáhnout Text práce Bc. Michal Zanáška 37.8 MB
Stáhnout Příloha k práci Bc. Michal Zanáška 7.9 MB
Stáhnout Abstrakt v českém jazyce Bc. Michal Zanáška 40 kB
Stáhnout Abstrakt anglicky Bc. Michal Zanáška 39 kB
Stáhnout Posudek vedoucího prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. 138 kB
Stáhnout Posudek oponenta Pavel Dvořák 50 kB
Stáhnout Posudek oponenta doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D. 544 kB
Stáhnout Záznam o průběhu obhajoby prof. RNDr. Jana Šafránková, DrSc. 153 kB