velikost textu

Studium senzorických vlastností tenkých vrstev oxidu wolframu

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Název:
Studium senzorických vlastností tenkých vrstev oxidu wolframu
Název v angličtině:
Study of gas sensing properties of tungsten oxide thin films
Typ:
Bakalářská práce
Autor:
Bc. Jiří Vojík
Vedoucí:
doc. RNDr. Karel Mašek, Dr.
Oponent:
Mgr. Klára Ševčíková
Konzultant:
prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc.
Id práce:
125748
Fakulta:
Matematicko-fyzikální fakulta (MFF)
Pracoviště:
Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP)
Program studia:
Fyzika (B1701)
Obor studia:
Obecná fyzika (FOF)
Přidělovaný titul:
Bc.
Datum obhajoby:
23. 6. 2015
Výsledek obhajoby:
Výborně
Jazyk práce:
Čeština
Klíčová slova:
oxid wolframu, odporový senzor, vodík, platina, XPS
Klíčová slova v angličtině:
tungsten oxide, conductometric sensor, hydrogen, platinum, XPS
Abstrakt:
Předmětem předložené práce je studium plynově senzorických vlastností čistých a platinou dopovaných tenkých vrstev oxidu wolframu na skleněném substrátu. Potřebné vrstvy byly připravovány magnetronovým naprašováním z wolframoxidového terče. Chemické složení a morfologie vrstev byly studovány metodami XPS a SEM. Zjistilo se, že deponované vrstvy jsou relativně rovné, homogenní a skládají se z polykrystalického WO3. Také se ukázalo, že platina přítomná v modifikovaných vrstvách je ve formě oxidů PtO2 a PtO. Během následného ohřevu na vzduchu, který je potřebný pro správné fungování vrstev jako senzorů, došlo ke zvýšení vodivosti vrstev a také k částečné redukci PtO2. Senzorické vlastnosti vrstev byly studovány při pracovní teplotě 300 °C. Větší citlivost na expozici vodíku prokázala platinou dopovaná vrstva.
Abstract v angličtině:
Purpose of this thesis is a study of gas sensing properties of pure and platinum doped tungsten oxide thin films, which are deposited on a glass substrate. Needed films were prepared by magnetron sputtering method. Chemical composition and morphology of the films were investigated by means of XPS and SEM. It was discovered that prepared films are relatively flat and homogenous. They consist of polycrystalline WO3. It emerged that platinum which is present in modified films is in form of the PtO2 and PtO oxides. During subsequent heating of the films in air, which is needed for right function of films as sensors, PtO2 partially reduced. The resistance of the films decreased after heating. Sensing properties of the films were studied at 300 °C. The platinum doped film was more sensitive to exposition of hydrogen than the pure film.
Dokumenty
Stáhnout Dokument Autor Typ Velikost
Stáhnout Text práce Bc. Jiří Vojík 2.48 MB
Stáhnout Abstrakt v českém jazyce Bc. Jiří Vojík 155 kB
Stáhnout Abstrakt anglicky Bc. Jiří Vojík 74 kB
Stáhnout Posudek vedoucího doc. RNDr. Karel Mašek, Dr. 158 kB
Stáhnout Posudek oponenta Mgr. Klára Ševčíková 162 kB
Stáhnout Záznam o průběhu obhajoby prof. RNDr. Josef Štěpánek, CSc. 102 kB