velikost textu

Preparation and Characterization of Porous Cerium Oxide/Carbon Bilayers on Silion Substrates

Upozornění: Informace získané z popisných dat či souborů uložených v Repozitáři závěrečných prací nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora.
Název:
Preparation and Characterization of Porous Cerium Oxide/Carbon Bilayers on Silion Substrates
Název v češtině:
Příprava a charekterizace porézních dvojvrstev ceroxid/uhlík na křemíkových substrátech
Typ:
Disertační práce
Autor:
Martin Dubau, Ph.D.
Školitel:
doc. Mgr. Iva Matolínová, Dr.
Oponenti:
Ing. Petr Jiříček, CSc.
Mgr. Igor Píš, Ph.D.
Konzultant:
prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc.
Id práce:
107965
Fakulta:
Matematicko-fyzikální fakulta (MFF)
Pracoviště:
Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP)
Program studia:
Fyzika (P1701)
Obor studia:
Fyzika povrchů a rozhraní (4F5)
Přidělovaný titul:
Ph.D.
Datum obhajoby:
20. 9. 2016
Výsledek obhajoby:
Prospěl/a
Jazyk práce:
Angličtina
Klíčová slova:
magnetronové naprašování, porézní ceroxid, dusíkem modifikovaný amorfní uhlík, ošetření kyslíkovým plazmatem, chemické složení
Klíčová slova v angličtině:
magnetron sputtering, porous cerium oxide, nitrogenated amorphous carbon, oxygen plasma treatment, chemical composition
Abstrakt:
ABSTRAKT Předložená doktorská práce pojednává o porézních dvojvrstvách ceroxid/uhlík na křemíku. V této souvislosti jsou zkoumány amorfní uhlíkové vrstvy (a-C) a dusíkem modifikované amorfní uhlíkové vrstvy (CNx). Je studován vliv různých parametrů při přípravě ceroxidových vrstev na morfologii finálních dvojvrstev ceroxid/uhlík. Byla nalezena korelace mezi morfologií dvojvrstvy a stechiometrií ceroxidové vrstvy prostřednictvím XPS. Dále je prezentována studie ohledně chemického složení uhlíkových vrstev pomocí různých spektroskopických metod. Bylo zjištěno, že chemické složení připravených uhlíkových vrstev silně zavisí na parametrech přípravy a ovlivnuje jejích chování při leptání v kyslíkovém plazmatu respektive při depozici ceroxidu.
Abstract v angličtině:
Abstract: This doctoral thesis concerns the preparation of porous cerium oxide/carbon bilayers on silicon substrates. In this regard, carbonaceous films in the form of amorphous carbon (a-C) and nitrogenated amorphous carbon (CNx) are considered. The influence of various process parameters of the cerium oxide deposition on the morphology of the final cerium oxide/carbon bilayer is investigated. A correlation could be found between the morphol- ogy of the bilayer and the stoichiometry of the cerium oxide film determined by means of XPS. Furthermore, a study regarding the chemical composition of the used carbonaceous films by means of various spectroscopic techniques is presented. It was found that the chemical composition of the carbonaceous films strongly depends on the deposition con- ditions of these films and influences the behaviour of these films during oxygen plasma treatment and cerium oxide deposition, respectively. 1
Dokumenty
Stáhnout Dokument Autor Typ Velikost
Stáhnout Text práce Martin Dubau, Ph.D. 58.99 MB
Stáhnout Abstrakt v českém jazyce Martin Dubau, Ph.D. 31 kB
Stáhnout Abstrakt anglicky Martin Dubau, Ph.D. 34 kB
Stáhnout Posudek vedoucího doc. Mgr. Iva Matolínová, Dr. 66 kB
Stáhnout Posudek oponenta Ing. Petr Jiříček, CSc. 161 kB
Stáhnout Posudek oponenta Mgr. Igor Píš, Ph.D. 262 kB
Stáhnout Záznam o průběhu obhajoby doc. RNDr. Ivan Ošťádal, CSc. 154 kB