Introduction to deposition and characterization of thin films - NBCM237

• Title: Základy přípravy a charakterizace tenkých vrstev
• Guaranteed by: Department of Macromolecular Physics (32-KMF)
• Faculty: Faculty of Mathematics and Physics
• Actual: from 2020
• Semester: summer
• E-Credits: 4
• Hours per week, examination: summer s.:1/2, C+Ex [HT]
• Capacity: unlimited
• Min. number of students: unlimited
• 4EU+: no
• Virtual mobility / capacity: no
• State of the course: taught
• Language: Czech, English
• Teaching methods: full-time
• Teaching methods: full-time
• Guarantor: doc. Mgr. Jan Hanuš, Ph.D.; prof. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.

Annotation

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

V rámci předmětu se studenti seznámí se základy přípravy tenkých vrstev s využitím nízkoteplotního plazmatu a s jejich charakterizací. Po teoretickém úvodu do problematiky bude výuka probíhat přímo v laboratořích KMF, kde se studenti seznámí s prací na automatizované depoziční aparatuře umožňující přípravu tenkých vrstev kovů, oxidů kovů a plazmových polymerů. Předmět má experimentální charakter.

Literature

English

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

[1] H. Biederman: Plasma Polymer Films. Imperial College Press, London 2004

[2] H. Biederman, Y.Osada: Plasma Polymerisation Processes. Elsevier, Amsterdam 1992

[3] M. Vůjtek, R. Kubínek, M. Mašláň: Nanoskopie, Univ. Palackého Olomouc 2012

[4] N. Fairley: CasaXPS Manual, www.casaxps.com

Requirements to the exam

English

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

The exam is oral. If the COVID restrictions are lifted, the exam will be held in person. The condition for granting credit and passing the exam is systematic attendance. The exam requirements correspond to the syllabus of the subject to the extent presented at the lecture.

Czech

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

Zkouška je ústní. Pokud budou zrušena COVID omezení, zkouška se bude konat prezenčě. Podmínkou udělení zápočtu a úspěšného složení zkoušky je systematická dochazka. Požadavky ke zkoušce odpovídají sylabu předmětu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce.

Syllabus

English

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

1) Definition of terms thin layer, low-temperature plasma, vacuum

2) Introduction to the issue of vacuum deposition of thin films - evaporation, magnetron sputtering, reactive magnetron sputtering, plasma polymerization

3) Measurement of optical properties and thickness of thin films - spectroscopic ellipsometry

4) Methods of chemical analysis of surfaces - XPS, FTIR, EDX

5) Investigation of surface morphology - AFM, SEM

6) Measurement of mechanical properties using nanoindentation

7) Measurement of wettability and surface energy

Czech

Last update: Marcela Búryová (14.05.2024)

1) Vymezení pojmů tenká vrstva, nízkoteplotní plazma, vakuum.

2) Úvod do problematiky vakuové depozice tenkých vrstev - napařování, magnetronové naprašování, reaktivní magnetronové naprašování, plazmová polymerace.

3) Měření optických vlastností a tlouštěk tenkých vrstev - spektroskopická elipsometrie

4) Metody chemické analýzy povrchů - XPS, FTIR, EDX

5) Zkoumání morfologie povrchů - AFM, SEM

6) Měření mechanických vlastností pomocí nonoindentace

7) Měření smáčivosti a povrchové energie