Charge exchange between ions and surface, spectroscopy based on a principies of neutralization incident ions (INS) and ion scattering (ISS). Ion sputtering, depth profiling. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS). Neutral particles scattering on the surfaces. Electron stimulated desorption.
Last update: T_KEVF (21.03.2003)
Výměna náboje mezi ionty a povrchem, spektroskopie založené na principu neutralizace dopadajících iontů (INS) a rozptylu iontů (ISS). Iontové odprašování, hloubkové profily. Hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS). Rozptyl neutrálních částic na povrchu PL. Elektronově stimulovaná desorpce.
Literature - Czech
Last update: T_KEVF (16.05.2005)
D.P. Woodruff, T.A. Delchar: Modern Techniques of Surface Science, University Press, Cambridge, Great Britain, 1986 .
L. Frank, J. Král (editors): Metody analýzy povrchů III: Iontové, sondové a speciální metody, ACADEMIA, Praha 2002.
Syllabus -
Last update: T_KEVF (16.05.2005)
1. Methods based on the ion impact
2. Charge exchange between ions and surface
Spectroscopy based on a neutralisation of incident ions (Ion Neutralisation Spectroscopy). Neutralisation by means of Auger transfer, deexcitation, experimental arrangement.
3. Ion scattering, methods based on it
Ion Scattering Spectroscopy and its modifications (LEIS, HEIS).
5. Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS)
Ion yield, energy spectrum of secondary ions, static and dynamical SIMS. Experimental arrangement.
6. Electronically Stimulated Desorption (ESD)
Principles, arrangement, detection. Time-of-flight and other analysis techniques.
7. Atomic and molecular beam scattering
Beam - surface interaction, elastic and non-elastic scattering, instrumentation.
8. Other methods based on the ion spectroscopy
Last update: T_KEVF (16.05.2005)
1. Metody založené na dopadu iontů
2. Výměna náboje mezi ionty a povrchem.
Spektroskopie založené na principu neutralizace dopadajících iontů (INS). Neutralizace Augerovým přechodem, de-excitace, experimentální uspořádání.