Construction of Deposition Apparatuses - NBCM234

• Title: Konstrukce depozičních aparatur
• Guaranteed by: Department of Macromolecular Physics (32-KMF)
• Faculty: Faculty of Mathematics and Physics
• Actual: from 2014 to 2016
• Semester: winter
• E-Credits: 5
• Hours per week, examination: winter s.:2/1, C+Ex [HT]
• Capacity: unlimited
• Min. number of students: unlimited
• 4EU+: no
• Virtual mobility / capacity: no
• State of the course: taught
• Language: Czech
• Teaching methods: full-time
• Teaching methods: full-time
• Guarantor: doc. Mgr. Jan Hanuš, Ph.D.

Annotation

Last update: Marcela Búryová (14.05.2019)

Základní rozdělení depozičních aparatur.

Syllabus

Last update: G_F (23.05.2014)

Základní rozdělení depozičních aparatur.

Konstrukční prvky a materiály pro vakuové aparatury.

Čerpací systémy - druhy primárních a sekundárních vývěv.

Měření tlaku, měrky pro HV a UHV.

Řízení přívodu pracovních plynů a kapalin.

Aparatury pro depozice za atmosférického tlaku.

Návrh a stavba depoziční aparatury.