In the course of this seminar is going to be given on concrete examples an overview of diagnostics methods used for the
evaluation of fundamental characteristics of discharges during deposition and modification of surfaces.
Last update: T_KMF (18.05.2010)
V tomto semináři bude podán na konkrétních příkladech přehled diagnostických metod používaných pro určování
základních parametrů plazmatu během depozice a úpravy povrchů.
Aim of the course -
Last update: T_KMF (18.05.2010)
The main aim of this lecture is to give students an overview of plasma diagnostics methods describing not only their advantages, but also their drawbacks and limitations.
Last update: T_KMF (18.05.2010)
Cílem předmětu je poskytnout posluchačům přehled metod diagnostiky plazmatu, a to jak s ohledem na jejich výhody, tak i limity jejich použitelnosti.
Syllabus -
Last update: T_KMF (18.05.2010)
Students will get basic of probe, optical and corpuscular plasma diagnostics methods with an emphasis given mainly to the evaluation of the fundamental characteristics of discharges during a deposition of modification of surfaces. The topic covered are:
1) Determination of densities of charged particles by mass spectrometry and probe methods
2) Determination of densities of neutral species by optical and corpuscular diagnostics methods
3) Evaluation of energetic distributions of charged particles
Determination of temperature of neutral species in the processing plasma.
Last update: T_KMF (18.05.2010)
Posluchač se během tohoto semináře seznámí se základy sondových, optických a korpuskulárních metod diagnostiky plazmatu, a to hlavně s ohledem na určování základních vlastností plazmatu během depozice a úpravy povrchů. Pozornost bude věnována zejména:
1) Určování koncentrací nabitých částic pomocí hmotnostní spektrometrie a sondových měření
2) Určování koncentrací neutrálních částic pomocí optických a korpuskulárních diagnostických metod
3) Určování energetického rozdělení částic ve výbojovém plazmatu
