Basics and application of dc glow discharge, rf and microwave discharges, processes of surface sputtering, technological applications for deposition of anorganic-PECVD and organic coatings. Plasma polymerization-modification of surfaces and their etching in a plasma.
Last update: ()
Základy a využití pro stejnosměrný doutnavý výboj, vysokofrekvenční a
mikrovlnný výboj,procesy rozprašování povrchů a naprašování vrstev v
plazmatu inertního nebo aktivního plynu, technologické aplikace pro
nanášení anorganických-PECVD-a organických vrstev. Plazmová
polymerace-modifikace povrchů a jejich leptání v plazmatu.
