Low Temperature Plasma and Its Applications - NEVF501

• Title: Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace
• Guaranteed by: Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP)
• Faculty: Faculty of Mathematics and Physics
• Actual: from 2024
• Semester: winter
• E-Credits: 3
• Hours per week, examination: winter s.:2/0, Ex [HT]
• Capacity: unlimited
• Min. number of students: unlimited
• 4EU+: no
• Virtual mobility / capacity: no
• State of the course: taught
• Language: Czech, English
• Teaching methods: full-time
• Guarantor: doc. RNDr. Štěpán Roučka, Ph.D.; RNDr. Martin Mašek, Ph.D.
• Teacher(s): doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc.; RNDr. Adolf Kaňka, Dr.; RNDr. Martin Mašek, Ph.D.
• Class: DS, fyzika plazmatu a ionizovaných prostředí
• Classification: Physics > Surface Physics and P. of Ion.M.
• Comes under: Pro rok 2019/2020 + 2021/2022...

Annotation

English

Kinetic desctription of plasma. Influence of the various types of interactions on the electron energy distribution function. Low-temperature plasma in the discharges. Influnce of the various processes and composition. Plasma treatment of surfaces, thin films deposition. This lecture is determined for the doctoral study, in the odd years only.

Last update: T_KEVF (18.05.2005)

Czech

Kinetický popis plazmatu. Vlivy různých typů srážek na rozdělovací funkci elektronů. Nízkoteplotní plazma ve výboji. Vlivy různých procesů a složení. Plazmatické opracování povrchů a vytváření vrstev. Určeno pro doktorandské studium. Vyučováno v lichých kalendářních rocích.

Last update: T_KEVF (18.05.2005)

Course completion requirements

Podmínkou zakončení předmětu je úspěšné složení zkoušky.

Last update: Pavlů Jiří, doc. RNDr., Ph.D. (14.06.2019)

Literature

Kracík J., Tobiáš J.: Fyzika plazmatu, Academia Praha 1966.

Raizer J. P.: Gas Discharge Physics, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, 1991.

Ricard A.: Reactive plasmas, Paris 1996.

Last update: T_KEVF (18.05.2005)

Requirements to the exam

Zkouška je ústní. Požadavky k jejímu složení odpovídají sylabu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. Z každého ze dvou tematických celků bude položena jedna otázka.

Last update: Hrachová Věra, doc. RNDr., CSc. (12.10.2017)

Syllabus

English

1. Kinetic description of low-temperature plasma
Solution of the kinetic equation, Focker-Planck collision term. Influence of the elastic and non-elastic collisions on the electron energy distribution function. Influence of the elektron-electron collision. Maxwellian and non-Maxwellian distributions of electrons. Magnetic field influence. Collision frequency.

2. Low-temperature discharge plasma and its application in the technologies
Plasma in dc and ac discharges. Influence of the diffusion, recombination, beta and gamma processes on these discharge behaviour. Processes near the electrodes. Influence of chemically active milieu on the plasma processes (e.g., electronegative gases, cataphoresis, tec.). Ions and neutral particle interactions with surfaces. Plasma surface treatment (cathode sputtering, etching, sterilisation, tec.). Thin film deposition, various influence on the film properties. Computational modelling in the plasma chemistry.

Last update: T_KEVF (18.05.2005)

Czech

1. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu
Řešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron - elektron na rozdělovací funkci. Maxwellovo rozdělení, nemaxwellovská rozdělení. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech, srážková frekvence.

2. Výbojové nízkoteplotní plazma a jeho aplikace v technologiích
Plazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difúze, rekombinace, beta a gama procesů na tyto výboje. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy v plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy. Katodové naprašování (závislost na energii, materiálu a podmínkách na povrchu). Metody vytváření tenkých vrstev různých vlastností. Plazmatická polymerace a leptání, sterilizace. Modelování v plazmochemii.

Last update: T_KEVF (18.05.2005)