Vacuum Technology - NEVF025

• Title: Vakuová technika
• Form of teaching: lecture
• Guaranteed by: Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP)
• Faculty: Faculty of Mathematics and Physics
• Actual: from 2007
• Duration in semesters: 1
• Semester: winter
• E-Credits: 4
• Hours per week, examination: winter s.:3/0, Ex [HT]
• Capacity: unlimited
• Maximum number of enrolled students: unlimited
• Min. number of students: unlimited
• 4EU+: no
• Virtual mobility / capacity: no
• State of the course: cancelled
• Language: Czech
• Teaching methods: full-time
• Repeated enrollment: 2 / 2 / 2 / 2
• Guarantor: doc. RNDr. Petr Řepa, CSc.
• Classification: Physics > Surface Physics and P. of Ion.M.
• Is pre-requisite for: NEVF062, NEVF061

Annotation

English

Vacuum production, gas transfer vacuum pumps, entrapment vacuum pumps. Low pressure measurement, manometers, vacuum gauges, residual gas analyzers. Leaks and leak detectors. Pressure monitoring, control and regulation in vacuum systems. Components of vacuum systems, vacuum valves. Materials for vacuum systems. Hints on the operation of vacuum apparatus.

Last update: G_F (12.10.2001)

Czech

Metody získávání vakua, transportní vývěvy, vývěvy založené na vazbě molekul. Vakuometry, analyzátory složení směsi plynu. Stavební prvky vakuových aparatur, vakuové ventily. Vakuové materiály, technologie opracování. Vakuové aparatury, jejich údržba a obsluha.

Last update: ()

Syllabus

Vakuový systém, zákon zachování množství plynu, čerpací rychlost, zdroje plynu, pokles tlaku při čerpání, mezní tlak.

Požadavky na materiály používané ve vakuových systémech. Hlavní konstrukční materiály (kovy, sklo), izolátory, elastomery, speciální materiály. Metody opracování a spojování vakuových materiálů, čištění a údržba vakuových aparatur.

Metody získávání nízkých tlaků, vývěvy transportní a vývěvy založené na vazbě molekul a jejich základní charakteristiky. Vývěvy mechanické, rotační olejová vývěva, Roobsova vývěva, vývěva vodokružní. Vývěva difuzní, lapače olejových par, vymrazovačky. Vývěva turbomolekulární.

Základy kryotechniky, vývěvy kondenzační. Vývěvy kryosorpční. Vývěvy sublimační a iontově sorpční. Getry a getrové vývěvy.

Metody měření nízkých tlaků, totální a parciální tlaky. Vakuometry a jejich základní charakteristiky. Kapalinové vakuometry, vakuometr kompresní. Mechanické vakuometry, membránový vakuometr. Vakuometry viskosní. Vakuometry tepelné, termočlánkový a odporový vakuometr. Vakuometry ionizační a výbojové.

Měření parciálních tlaků. Hmotnostní spektrometry pro analýzu zbytkových plynů, kvadrupól, průletový hmotnostní spektrometr. Testování těsnosti vakuových aparatur, halogenní hledač netěsností, heliový hledač netěsností, využití nepřímých vakuometrů pro hledání netěsností.

Stavební prvky vakuových apartur. Přírubové spoje. Těsnění. Recipienty, spojovací prvky. Průchodky, okénka, přenosy pohybu. Ventily.

Základní typy čerpacích jednotek, jejich pracovní cyklus, obsluha a údržba.

Základní pracovní postupy ve vakuové technice, kontrola, čištění a údržba, odstraňování závad na vakuových aparaturách. Zásady vakuové hygieny.

Last update: ()