|
|
|
||
Vacuum technique and its application for construction of deposition apparatuses.
Last update: Búryová Marcela (14.05.2019)
|
|
||
Zápočet je udělen za účast a prokázaní získaných teoretických znalostí v praxi. Vzhledem k nutné účasti na cvičeních není možno zápočet opakovat. Last update: Hanuš Jan, doc. Mgr., Ph.D. (06.10.2017)
|
|
||
(1) John F. O'Hanlon, A User's Guide to Vacuum Technology, John Wiley & Sons, 2005 (2) Libor Pátý, Jiří Petr, Vakuová technika, České vysoké učení technické, Praha, 1990 Last update: Hanuš Jan, doc. Mgr., Ph.D. (13.05.2019)
|
|
||
Ústní zkouška, požadavky odpovídají sylabu předmětu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. Last update: Hanuš Jan, doc. Mgr., Ph.D. (06.10.2017)
|
|
||
Basic types of deposition setups.
Construction elements and materials for vacuum apparatus.
Pumping Systems - Types of primary and secondary pumps.
Pressure measurement, gauges for HV and UHV.
Management of working gases and liquids.
Apparatus for atmospheric pressure deposition.
Design and construction of deposition apparatus.
Last update: Hanuš Jan, doc. Mgr., Ph.D. (14.05.2019)
|