Studium struktury a složení tenkých vrstev připravených magnetronovým naprašováním metodou SEM a EDS
Thesis title in Czech: | Studium struktury a složení tenkých vrstev připravených magnetronovým naprašováním metodou SEM a EDS |
---|---|
Thesis title in English: | SEM and EDS study of structure and composition of thin sputtered films |
Academic year of topic announcement: | 2008/2009 |
Thesis type: | Bachelor's thesis |
Thesis language: | |
Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
Supervisor: | prof. Mgr. Iva Matolínová, Dr. |
Author: |
Guidelines |
1) Bibliografická rešerše
2) Zvládnutí základních funkcí ovládání řádkovacího elektronového mikroskopu 3) Příprava vzorků, studium jejich struktury a složení v SEM 4) Vyhodnocení výsledků |
References |
1) Physical Principles of Electron Microscopy, Ray F. Egerton, Springer, ISBN: 978-0387-25800-0, New York 2007.
2) Quantitative Scanning Elektron Microscopy, D.B. Holt, M.D. Muir, P.R. Grant and I.M. Boswarva, Academic Press, ISBN: 0-12-353850-5, London 1976. 3) Nanostructures & Nanomaterials, G. Cao, Imperial College Press, ISBN: 1-86094-415-9, London 2004. 4) The Materials Science of Thin Films, M. Ohring, Academic Press, San Diego, CA 1992. 5) Physics of Thin Films, L. Eckertová, Plenum Press, ISBN: 0-306-41798-7, New York 1986. 6) Studium nanotyčinek oxidu wolframu v SEM, K. Krejčová, Bakalářská práce, MFF UK, Praha 2008. |
Preliminary scope of work |
http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/bak-abs.php?id=89
Naprašované vrstvy oxidů kovů (CeO2, TiO2) dopované malým množstvím aktivního kovu (Au, Pt, Pd, Ag, Ni) vykazují specifické vlastnosti, mezi které patří např. vysoká katalytická aktivita a výrazné změny povrchové vodivosti při interakci s plyny. Díky tomu jsou v poslední době studovány možnosti jejich využití při konstrukci palivových článků či chemických senzorů. Na přiloženém obrázku vlevo pořízeném v řádkovacím elektronovém mikroskopu je vidět příklad 65 nm tlusté vrstvy oxidu céru nesené na křemíku spolu s mapou rozložení chemických prvků. Na obrázku vpravo je zobrazena vrsva CeO2 naprášená na poteflonovaném vysoce porézním uhlíkovém papíře. Takto připravená tenká vrstva CeO2 v palivovém článku funguje jako anoda, uhlíkový papír díky své poréznosti zajišťuje dobrý přístup paliva k anodě a slouží jako nosič anody a zároveň kolektor elektronů. Cílem práce bude studium struktury těchto systémů v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM) a jejich chemického složení pomocí energiově-disperzní rentgenové spektroskopie (EDS). Vzorky budou připravovány na našem pracovišti. |