Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
| Thesis title in Czech: | Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev. |
|---|---|
| Thesis title in English: | Diagnosties of highly ionized plasma during PVD thin film deposition. |
| Academic year of topic announcement: | 2005/2006 |
| Thesis type: | diploma thesis |
| Thesis language: | čeština |
| Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
| Supervisor: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 03.11.2005 |
| Date of assignment: | 03.11.2005 |
| Date and time of defence: | 18.05.2007 00:00 |
| Date of electronic submission: | 18.05.2007 |
| Date of proceeded defence: | 18.05.2007 |
| Opponents: | doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc. |
| Guidelines |
| Zásady pro vypracování:
1. Rešerše literatury se zaměřením na sondovou a spektroskopickou diagnostiku plazmatu. 2. Seznámit se s konstrukcí a obsluhou aparatury včetně elektroniky pro sondová měření a softwarové podpory. 3. Spolupráce na vývoji a konstrukci Langmuirovy sondy s použitím nových materiálů. 4. Spolupráce na úpravě softwaru pro sběr a zpracování dat. 5. Provedení experimentů a vyhodnocení a interpretace experimentálních dat. 6. Vypracování písemné zprávy. |
| References |
| Seznam odborné literatury:
Speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím diplomové práce. Základní literatura: 1. F.F. Chen, Základy fyziky plazmatu. 2. J.A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, third edition, Springer, 2004, ISBN 0-387-20975-1. 3. M.A. Liebermann, A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Material Processing, John Wiley and Sons, 1994, ISBN 0-471-00577-0. 4. J. Reece Roth, Industrial Plasma Engineering, volume 1 and 2, Institute of Physics Publishing, 1995, ISBN 0-7503-0318-2. 5. A. Fridman, L. Kennedy, Plasma Physics and Engineering, Taylor and Francis, 2004, ISBN 1-56032-848-7. 6. J.D. Swift, M.J.R. Schwar, Electrical Probes for Plasma Diagnostics, Iliffe books, London, (1970). 7. P.M. Chung, L. Talbot, K.J. Touryan, Electrical Probes in Stationary and Flowing Plasmas, Theory and Application, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, (1975). 8. S. Pfau, M. Tichý, Langmuir probe diagnostics of low-temperature plasmas, in Low Temperature Plasma Physics, R. Hippler et al. Eds., Wiley-VCH, Berlin etc., 2001, ISBN 3-527-28887-2, pp. 131-172. 9. S. Svanberg, Atomic and Molecular Spectroscopy, second edition, Springer, 1992, ISBN 0-387-55243-X. |
| Preliminary scope of work |
| http://physics.mff.cuni.cz/kevf/php/dipl-abs.php?id=558
Nový zdroj plazmatu s vysokým stupněm ionizace určený pro PVD depozice tenkých vrstev bude testován v různých konfiguracích. Plazma s vysokou hustotou v místě substrátu bude analyzováno pomocí sondové diagnostiky a pomocí emisní spektroskopie. |