hidden - assigned and confirmed by the Study Dept.
Date of registration:
23.09.2020
Date of assignment:
23.09.2020
Confirmed by Study dept. on:
30.09.2020
Advisors:
prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Guidelines
Depoziční magnetronové popřípadě tryskové plazmatické systémy pracující krátkými výkonovými pulsy mají v současnosti proti stejnosměrně pracujícím nevýhodu ve významně nižší depoziční rychlosti. Výzkum těchto systémů je v poslední době směřován k úpravě parametrů výkonových pulsů jako tvaru popřípadě opakování pulsů apod. s cílem zachovat výhodné vlastnosti pulsního systému, ale zvýšit depoziční rychlost. Pro to je nezbytná detailní diagnostika parametrů plazmatu včetně deponovaných vrstev.
References
U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, et al., Thin Solid Films 513 (2006) 1–24.
Další literatura dle dohody se školitelem.
Preliminary scope of work
Depoziční magnetronové popřípadě tryskové plazmatické systémy pracující krátkými výkonovými pulsy mají v současnosti proti stejnosměrně pracujícím nevýhodu ve významně nižší depoziční rychlosti. Výzkum těchto systémů je v poslední době směřován k úpravě parametrů výkonových pulsů jako tvaru popřípadě opakování pulsů apod. s cílem zachovat výhodné vlastnosti pulsního systému, ale zvýšit depoziční rychlost. Pro to je nezbytná detailní diagnostika parametrů plazmatu včetně deponovaných vrstev.
- assigned and confirmed by the Study Dept.