Diagnostika technologického plazmatu
| Thesis title in Czech: | Diagnostika technologického plazmatu |
|---|---|
| Thesis title in English: | Diagnostics of plasmas for technological applications |
| Key words: | Langmuirova sonda, Planární magnetron, Dutá katoda, HiPIMS |
| English key words: | Langmuir probe, Planar magnetron, Hollow cathode, HiPIMS |
| Academic year of topic announcement: | 2018/2019 |
| Thesis type: | diploma thesis |
| Thesis language: | čeština |
| Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
| Supervisor: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 06.11.2018 |
| Date of assignment: | 06.11.2018 |
| Confirmed by Study dept. on: | 11.12.2018 |
| Date and time of defence: | 14.09.2020 09:00 |
| Date of electronic submission: | 30.07.2020 |
| Date of submission of printed version: | 30.07.2020 |
| Date of proceeded defence: | 14.09.2020 |
| Opponents: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Advisors: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Guidelines |
| 1. Rešerše literatury.
2. Seznámit se s experimentálním vakuovým systémem v modifikaci s plazmovou tryskou i s magnetronem. 3. Seznámit se s elektronikou pro sondová měření (Agilent B2901A) a s příslušnou softwarovou podporou. 4. Spolupráce na optimalizaci softwaru pro sondovou diagnostiku a zpracování dat ze sondových měření. 5. Provedení experimentů, vyhodnocení a interpretace experimentálních dat. 6. Vypracování písemné zprávy. |
| References |
| 1. Plasma Diagnostics, Volume 1, Discharge parameters and chemistry, edited by Orlando Auciello, Daniel L. Flamm, Academic press, 1989, ISBN 0-12-067635-4.
2. Yu.P. Raizer, Gas Discharge Physics, Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York, 1997, ISBN 3-540-19462-2. 3. Francis F. Chen, Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha, 1984 (též v originální anglické verzi, Introduction to Plasma Physics, Springer, 1974, ISBN 978-1-4757-0459-4). Další speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím diplomové práce. |
| Preliminary scope of work |
| Při aplikaci nízkoteplotního plazmatu v technologických procesech je třeba fokusovat proud nízkoteplotního plazmatu na substrát. Jednou z možností je vytvořit nízkoteplotní plazma pomocí výboje v trysce a proudem plynu jej směrovat na substrát. Druhou možností je rozprašovat terč materiálu, a rozprášené částice terče směrovat na substrát magnetickým polem-princip planárního magnetronu. Plazmatické tryskové systémy využívají stejnosměrný nebo vysokofrekvenční zdroj napětí, magnetrony jsou zpravidla napájeny stejnosměrným proudem. Oba systémy je možné provozovat v impulzním režimu.
Předmětem diplomové práce je úprava experimentální aparatury a následné studium stejnosměrně a popřípadě i vysokofrekvenčně buzeného plazmatického tryskového systému v kontinuálním i impulzním režimu. Dále srovnání parametrů plazmatu systému s tryskou a systému s magnetronem za stejných experimentálních podmínek. Základní díly aparatury (zdroj stejnosměrného a vysokofrekvenčního napětí, rychlý elektronický spínač, systém pro regulaci průtoku pracovního plynu) jsou k dispozici. Diagnostika vytvořeného proudu plazmatu se předpokládá zejména sondová, případně i hmotově-spektrometrická nebo fotografická. |