Depozice tenkých vrstev nízkoteplotní plazmovou tryskou
| Thesis title in Czech: | Depozice tenkých vrstev nízkoteplotní plazmovou tryskou |
|---|---|
| Thesis title in English: | Deposition of thin films by low-temperature plasma jet |
| Key words: | nízkoteplotní plazma, atmosférická plazmová tryska, tenké vrstvy |
| English key words: | low-temperature plasma, atmospheric plasma jet, thin films |
| Academic year of topic announcement: | 2017/2018 |
| Thesis type: | project |
| Thesis language: | |
| Department: | Department of Macromolecular Physics (32-KMF) |
| Supervisor: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Author: |
| Guidelines |
| 1) Seznámit se s technikou nízkoteplotního plazmatu, plazmové polymerace a atmosférických plazmových trysek.
2) Připravit sérii tenkých vrstev z uhlovodíkových prekurzorů za různých podmínek. 3) Podílet se na základních charakterizacích těchto vrstev. 4) Vypracovat závěrečnou zprávu. |
| References |
| Plasma polymer films, ed. H. Biederman, Imperial College Press, London 2004
M.Laroussi, T.Akan, Arc-Free Atmospheric Pressure Cold Plasma Jets: A Review, Plasma Processes and Polymers, Volume 4, Issue 9, pages 777–788, November 22, 2007 + další odborná literatura týkající se dané problematiky. Bude upřesněno po konzultaci s vedoucím. |
| Preliminary scope of work |
| Velké množství aplikací nízkoteplotního plazmatu vyžaduje vakuovou techniku. Proto je věnováno čím dál více pozornosti zdrojům schopným pracovat za atmosférického tlaku. Je to často vhodný prostředek pro povrchovou aktivaci látek, potenciálně též pro aplikace v medicíně nebo dekontaminaci plynů a kapalin.
Zajímavým - a ne zdaleka vyřešeným - problémem je aplikace vysokotlakého plazmatu pro nanášení tenkých vrstev metodou plazmové polymerace. Cílem projektu je optimalizovat podmínky pro depozici tenkých vrstev z uhlovodíkových prekurzorů (typ. hexan) pomocí plazmových zdrojů, které jsou již na pracovišti k dispozici. Na vrstvách bude sledována jejich morfologie i složení. Projekt má experimentální charakter. |
| Preliminary scope of work in English |
| A lot of applications of low-temperature plasma require a vacuum technology. Therefore an increasing attention is paid to plasma sources capable of operation at atmospheric pressure. They are useful for surface activation of materials and potentially for apllications in medicine or for the decontamination of gases and liquids.
Very intersting - and largely unsolved - problem is the application of high-pressure plasma for the deposition of thin films by plasma polymerization. The aim of the project is to optimize the conditions for the deposition of thin films from hydrocarbon precursors (typ. hexane) using plasma sources that are already present at the department. The thin film will be characterized in terms of their morphology and composition. The project is focused on experimental work. |