FIB: výrobní nástroj pro nanostruktury
| Thesis title in Czech: | FIB: výrobní nástroj pro nanostruktury |
|---|---|
| Thesis title in English: | : FIB: a manufacturing tool for nanostructures |
| Academic year of topic announcement: | 2013/2014 |
| Thesis type: | dissertation |
| Thesis language: | |
| Department: | Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v.v.i. (32-UFEAV) |
| Supervisor: | RNDr. Jan Lorinčík, CSc. |
| Author: | |
| Advisors: | Ing. Jan Grym, Ph.D. |
| Guidelines |
| Bude specifikováno ve studijním plánu doktoranda. |
| References |
| 1. L. A. Giannuzzi, F.A. Stevie, Introduction to Focused Ion beams – Instrumentation, Theory, Techniques and Practice, 2005, Springer
2. Nan Yao, Focused Ion beam Systems –Basics and Applications, 2007, Cambridge University Press |
| Preliminary scope of work |
| FIB je moderní fyzikální instrument pro vytváření objektů nanometrových rozměrů pomocí zfokusovaného iontového svazku. Tyto nanoobjekty mohou být vytvářeny buď pomocí odprašovacího účinku iontového svazku, kdy se jedná o tzv. nanoobrábění anebo pomocí lokálně indukovaného rozkladu vhodně zvoleného plynu adsorbovaného na povrchu vzorku, kdy dochází k růstu nanoobjektů.
Cílem práce je definovaná příprava dvou- a třídimenzionálních nanostruktur pro fotonické a senzorické aplikace. K dispozici je nový multifunkční přístroj na bázi rastrovacího elektronového mikroskopu SEM, iontového děla typu FIB produkujícího ionty Ga+ a počítačem řízeného napouštěcího systému plynů. |
| Preliminary scope of work in English |
| FIB SIMS is a modern physical tool for the creation of nanometer sized objects using a focused ion beam. Those nanoobjects can be formed either by the sputtering effect of the ion beam, when we talk about the nanomachining, or by locally inducing the decomposition of a properly chosen gas adsorbed on the sample surface, then nanoobjects can be grown
The goal of the thesis is a controlled creation of two- and three-dimensional nanostructures for photonic and sensoric applications. The available facility is a new multifunctional instrument based on a scanning electron microscope, FIB-type ion gun producing Ga+ ions, and a computer controlled gas injection system. |