Diagnostika plazmatu depozičních zdrojů pomocí Langmuirových sond
| Thesis title in Czech: | Diagnostika plazmatu depozičních zdrojů pomocí Langmuirových sond |
|---|---|
| Thesis title in English: | Diagnostics of plazma in the deposition sources using the Langmuir probes |
| Key words: | Langmuirovy sondy, diagnostika plazmatu, depoziční zdroje, jednoduchá sonda, dvojná sonda. |
| English key words: | Langmuir probes, diagnostics of plazma, deposition sources, simple probe, double probe. |
| Academic year of topic announcement: | 2010/2011 |
| Thesis type: | Bachelor's thesis |
| Thesis language: | čeština |
| Department: | Department of Macromolecular Physics (32-KMF) |
| Supervisor: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 04.11.2010 |
| Date of assignment: | 04.11.2010 |
| Date and time of defence: | 23.06.2011 00:00 |
| Date of electronic submission: | 26.05.2011 |
| Date of submission of printed version: | 26.05.2011 |
| Date of proceeded defence: | 23.06.2011 |
| Opponents: | doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D. |
| Guidelines |
| 1) Seznámit se s principy fyziky plazmatu a měření jeho parametrů pomocí Langmuirových sond
2) Seznámit se s různými typy plazmových zdrojů 3) U vybraných typů zdrojů změřit parametry plazmatu 4) Vypracovat práci |
| References |
| - Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, M.A. Lieberman, A.J. Lichtenberg, Wiley, New York, 1994
- Low Temperature Plasma Physics, R. Hippler et al. Eds., Wiley, Berlin etc., 2001 - Plasma polymer films, ed. H. Biederman, Imperial College Press, London 2004 |
| Preliminary scope of work |
| Mnoho akademicky i průmyslově zajimavých technologií využívá nanášení tenkých vrstev pomocí plazmatu. Ke studiu procesů probíhajících během depozice je třeba znát jeho základní parametry (hustotu nabitých částic, energie elektronů a iontů apod.).
Jednou z nejvšestrannějších metod zkoumání plazmatu je Langmuirova sonda a od ní odvozené techniky. Díky přímému kontaktu sondy s plazmatem je možné získat i při poměrně snadno realizovatelném experimentálním uspořádání mnoho informací i s prostorovým rozlišením. Cílem práce je změřit charakteristiky plazmatu různých nízkotlakých depozičních zdrojů za různých podmínek a na vybraných příkladech dát parametry plazmatu do souvislosti s průběhem depozice. |
| Preliminary scope of work in English |
| Many technologies used both in academia and in industry utilize the plasma deposition processes. In order to study the processes during the deposition, obtaining of information about the basic parameters of the plasma (charged particles density, electron and ion energy etc.) is neccessary.
Langmuir probe-derived techniques belong to the most universal tools of studying the plasma. Due to the direct contact of the probe with the plasma it is possible to obtain a lot of space resolved information about the plasma even in a relatively simple experimental setup. The aim of this work is to obtain the plasma parameters of various low-pressure deposition sources at various conditions. In selected cases the plasma parameters will be correlated to the deposition process. |