Analýza plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie při depozičních plazmově polymeračních procesech
| Thesis title in Czech: | Analýza plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie při depozičních plazmově polymeračních procesech |
|---|---|
| Thesis title in English: | Analysis of plasma using optical emission spectroscopy during plasma polymerization deposition processes |
| Key words: | optická emisní spektroskopie, nanášení plazmových polymerů |
| English key words: | optical emission spectroscopy ,plasma polymerization deposition |
| Academic year of topic announcement: | 2010/2011 |
| Thesis type: | dissertation |
| Thesis language: | |
| Department: | Department of Macromolecular Physics (32-KMF) |
| Supervisor: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 12.10.2010 |
| Date of assignment: | 12.10.2010 |
| Advisors: | doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D. |
| prof. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D. | |
| Guidelines |
| Při studiu a optimalizaci tenkých plazmově polymerních vrstev je třeba sledovat i složení a parametry procesního plazmatu. Jednou z nejrozšířenějších metod diagnostiky plazmatu je optická emisní spektroskopie, která je vhodná i pro sledování časově proměnných dějů přímo během procesu depozice tenkých vrstev. Optická spektra obsahují velké množství informací, ale díky komplexnosti dějů v plazmově polymeračním plazmatu je aplikace některých metod interpretace naměřených dat často obtížná.
Cílem práce bude najít optimální postupy při aplikaci metod optické emisní spektroskopie ke stanovení složení a parametrů plazmatu a pro řízení depozičního procesu s ohledem na žádoucí složení vrstev. Vybrané postupy budou upraveny na vyhodnocení dat přímo během procesu plazmové polymerace. Parametry plazmatu získané metodou optické emisní spektroskopie budou porovnávány s výsledky dalších metod analýzy plazmatu i s parametry plazmově polymerních vrstev, zejména při studiu počátečních stádií jejich růstu. |
| References |
| 1. Plasma polymer films, ed. H. Biederman, Imperial College Press, London 2004
2. H. Yasuda: Plasma polymerization, Academic Press, Orlando, 1985 3. H. Biederman, Y. Osada: Plasma polymerization processes, Elsevier, Amsterdam, 1992 |