Optická emisní spektroskopie nízkotlakého plazmově polymeračního zdroje
| Thesis title in Czech: | Optická emisní spektroskopie nízkotlakého plazmově polymeračního zdroje |
|---|---|
| Thesis title in English: | Optical emission spectroscopy of low pressure plasma polymerization source |
| Academic year of topic announcement: | 2009/2010 |
| Thesis type: | diploma thesis |
| Thesis language: | |
| Department: | Department of Macromolecular Physics (32-KMF) |
| Supervisor: | Mgr. Jaroslav Kousal, Ph.D. |
| Author: |
| Guidelines |
| - |
| References |
| - |
| Preliminary scope of work |
| Procesy plazmové polymerace většinou probíhají za tlaků nad 1 Pa. V některých typech
plazmových zdrojů však lze deponovat vrstvy i za tlaků <0,1 Pa, kdy už je proudění plynu téměř bezsrážkové. Cílem práce je část charakterizace nízkotlakého depozičního zdroje plazmatu vyvinutého pro účely směrové depozice vrstev. Student se bude podílet na měření a vyhodnocení optických emisních spekter plazmatu. Práce má experimentální charakter. |