Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu
| Thesis title in Czech: | Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu |
|---|---|
| Thesis title in English: | Probe diagnostics of the pulse-generated plasma |
| Key words: | Langmuirova sonda, Magnetron, Dutá katoda, HiPIMS |
| English key words: | Langmuir probe, Planar magnetron, Hollow cathode, HiPIMS |
| Academic year of topic announcement: | 2017/2018 |
| Thesis type: | Bachelor's thesis |
| Thesis language: | čeština |
| Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
| Supervisor: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 02.05.2017 |
| Date of assignment: | 17.05.2017 |
| Confirmed by Study dept. on: | 26.05.2017 |
| Date and time of defence: | 13.09.2018 09:00 |
| Date of electronic submission: | 09.07.2018 |
| Date of submission of printed version: | 09.07.2018 |
| Date of proceeded defence: | 13.09.2018 |
| Opponents: | RNDr. Adolf Kaňka, Dr. |
| Advisors: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Guidelines |
| 1) Seznámit se s technikou PVD a HiPIMS (z literatury).
2) Seznámit se s aparaturou s nízkotlakou plazmovou tryskou (dutou katodou). 3) Vývoj elektronického, počítačem řízeného, systému pro měření charakteristik Langmuirovy sondy v impulsním režimu výboje. 4) Provedení ověřovacích měření ve výboji v argonu. 5) Vypracování písemné zprávy. |
| References |
| 1) R.K. Waits, J. Vac. Sci. Technol. 15 (1978) 179-187.
2) K. Sarakinos, J. Alami, S. Konstantinidis, Surf. Coat. Technol. 204 (2010) 1661–1684. 3) Y.P. Raizer: Gas Discharge Physics, Springer Verlag 1997. 2) Jan Klusoň, Doktorská dizertace MFFUK, Praha 2013. 3) Další literatura dle dohody s vedoucím práce. |
| Preliminary scope of work |
| Jedna z nejrozšířenějších technik pro plazmatické nanášení kovových a dielektrických tenkých vrstev je rozprašování terče výchozího materiálu dopadem kladných iontů z výboje, obvykle za nízkého tlaku p ~ 0,1 – 10 Pa, tzv. PVD (Physical Vapour Deposition) [1]. Před relativně nedávnou dobou byla tato technika modifikována použitím napájecího napětí výboje ve formě krátkých vysokoproudých impulsů, tzv. HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) [2]. Díky krátké době impulsu ve srovnání s periodou jejich aplikace (nízký tzv. činitel plnění, duty cycle) je dosaženo vysoké plošné hustoty výkonu, několik kW/cm2 na katodě, kterou představuje terč s rozprašovaným materiálem. Použitím zdroje plazmatu v impulsním módu je rovněž dosaženo vysokého toku iontů, radikálů a dalších částic na substrát během aktivní části periody, což pozitivně ovlivňuje vlastnosti deponovaných vrstev. Alternativní metodou depozice tenkých vrstev, která se rovněž řadí mezi skupinu PVD, je systém s nízkotlakou plazmovou tryskou (dutou katodou), v němž je výboj napájen buď stejnosměrným nebo vysokofrekvenčním výkonem, a funkci terče zastává materiál duté katody.
Předmětem bakalářské práce je diagnostika plazmatu v systému s dutou katodou pracujícím v impulsním režimu, kdy je plazma generováno impulzy stejnosměrného napětí. Použitou diagnostickou metodou bude Langmuirova sonda. Cílem práce je měření parametrů plazmatu argonového výboje s časovým rozlišením, tj. v závislosti na čase během jedné impulsní periody. http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/bak-abs.php?id=251 |
| Preliminary scope of work in English |
| http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/bak-abs.php?id=251 |