Měření propustnosti tenké ITO desky
| Thesis title in Czech: | Měření propustnosti tenké ITO desky |
|---|---|
| Thesis title in English: | Transmittance measurement of thin ITO film |
| Academic year of topic announcement: | 2016/2017 |
| Thesis type: | project |
| Thesis language: | čeština |
| Department: | Institute of Physics of Charles University (32-FUUK) |
| Supervisor: | prof. Ing. Jan Franc, DrSc. |
| Author: |
| Guidelines |
| Zásady pro vypracování:
1. Prostudovat literaturu o vlastnostech ITO 2. Seznámit se s měřením pomocí Fourierovského spektrometru 3. Naměřit propustnost ITO desky používané v zařízení COREMA 4. Nakalibrovat světelné zdroje na konstantní fotonový tok při měření bezkontaktní fotovodivosti |
| References |
| Seznam odborné literatury:
1. R. Stibal, J. Windscheif, W. Jantz, Contactless evaluation of semiinsulating GaAs wafer resistivity using time-dependent charge measurements, Semicond. Sci. Technol. 6, 995 (1991). 2. P. Malý, Optika, Nakladatelství Karolinum, Praha 2008 |
| Preliminary scope of work |
| Tenké filmy polovodičového materiálu ITO ( oxid india a cínu) mají výhodu, že jsou ve viditelném spektru průhledné a přesto vodivé. Propustnost materiálu závisí na jeho tloušťce. Cílem projektu je naměřit propustnost desky používané v zařízení na měření bezkontaktní fotovodivosti COREMA. Tenký film ITO napařený na skleněné podložce je zde využíván jako světelně propustná elektroda kapacitního měření. Pro měření fotovodivosti jsou používány světelné zdroje jak ve viditelné, tak v blízké infračervené části spektra. Proto je nutno změřit propustnost elektrody a kalibrovat výkon zdrojů tak, aby na měřený vzorek dopadal vždy konstantní počet fotonů. |