Studium plynových senzorů Pt-SnOx
Thesis title in thesis language (Slovak): | Studium plynových senzorů Pt-SnOx |
---|---|
Thesis title in Czech: | Studium interakce Pd a Pt s oxidy cínu a ceru |
Thesis title in English: | Investigation of Pt-SnOx gas sensors |
Key words: | senzory, Pt-SnO2, vodík, tenké vrstvy |
English key words: | sensors, Pt-SnO2, hydrogen, thin films |
Academic year of topic announcement: | 2012/2013 |
Thesis type: | diploma thesis |
Thesis language: | slovenština |
Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
Supervisor: | prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc. |
Author: | hidden - assigned and confirmed by the Study Dept. |
Date of registration: | 01.03.2013 |
Date of assignment: | 01.03.2013 |
Confirmed by Study dept. on: | 14.03.2013 |
Date and time of defence: | 17.05.2013 00:00 |
Date of electronic submission: | 09.04.2013 |
Date of submission of printed version: | 09.04.2013 |
Date of proceeded defence: | 17.05.2013 |
Opponents: | RNDr. Miroslav Zahoran, CSc. |
Guidelines |
1) Bibliografická rešerše.
2) Zvládnutí přípravy vzorků magnetronovým naprašováním. 3) Studium deponovaných vrstev senzorů metodou XPS a XRD. 4) Kontrola morfologie povrchů metodou SEM. 5) Vyhodnocení výsledků a sepsání diplomové práce. |
References |
1. NANOCATALYSIS, Ed.: U. Heinz, U. Landman, Springer 2008.
2. NANOTECHNOLOGY IN CATALYSIS, Ed.: B. Zhou, S. Han, R. Rija, G.A. Somorjai, Springer 2007. 3. PHYSICS AND CHEMISTRY OF INTERFACES, H-J Butt, K. Graf, M. Kappl, Willey 2006. 4. SURFACE SCIENCE – Foundation of Catalysis and Nanoscience, K.W. Kolasinski, Willey 2002. |
Preliminary scope of work |
Oxidy SnO2-x ve formě tenkých vrstev a „nanodrátů“ o průměru jednotek až několika desítek nanometrů jsou perspektivními materiály pro plynové senzory. Zmenšením příčného rozměru senzorů lze dosáhnout nových selektivních vlastností, tj. citlivosti pro speciální plyny jako jsou např. H2, CO a NOx. Tyto systémy budou připravovány metodami depozice magnteronovým naprašováním na mikročipy pro čtyřbodové měření vodivosti vrstev při interakci s plyny.
Pro přípravu nanodrátů bude naprašování kombinováno s elektronovou litografií (EBL) v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM). Fyzikálně-chemické povrchové vlastnosti vrstev budou modifikovány depozicí nanočástic katalyticky aktivní Pt. Morfologie připravených nanostruktur bude kontrolována pomocí SEM a AFM. Chemické složení bude studováno pomocí fotoelektronové spektroskopie XPS a energiově-disperzní rtg. spektroskopie (EDS). Struktura vrstev bude studována metodou rentgenové difrakce. Interakce s plyny metodou infračervené spektroskopie. http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dipl-abs.php?id=657 |
Preliminary scope of work in English |
http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dipl-abs.php?id=657 |