Experimentální systém pro přípravu tenkých vrstev pro mikrovlnné obvody v pásmu 10 GHz.
| Název práce v češtině: | Experimentální systém pro přípravu tenkých vrstev pro mikrovlnné obvody v pásmu 10 GHz. |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce: | Experimental system for preparation of thin films for microwave circuits in the 10 GHz. |
| Akademický rok vypsání: | 2005/2006 |
| Typ práce: | bakalářská práce |
| Jazyk práce: | čeština |
| Ústav: | Katedra fyziky povrchů a plazmatu (32-KFPP) |
| Vedoucí / školitel: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Řešitel: | skrytý - zadáno a potvrzeno stud. odd. |
| Datum přihlášení: | 18.11.2005 |
| Datum zadání: | 18.11.2005 |
| Datum a čas obhajoby: | 27.06.2006 00:00 |
| Datum odevzdání elektronické podoby: | 27.06.2006 |
| Datum proběhlé obhajoby: | 27.06.2006 |
| Oponenti: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Zásady pro vypracování |
| Zásady pro vypracování:
1. Studium literatury, zejména časopisecké, týkající se nanášení tenkých vrstev impulsními metodami (pulsní magnetron, pulsní režim plazmové trysky). 2. Návrh spínacího obvodu pro impulsní režim stejnosměrně napájené plazmové trysky. Parametry: spínací napětí do 2kV, spínací proud do 20A. 3. Konstrukce spínacího obvodu s tranzistory IGBT. 4. Oživení konstrukce a ověření parametrů vyrobeného obvodu. 5. Vypracování písemné zprávy. |
| Seznam odborné literatury |
| Speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím bakalářské práce.
Základní literatura: 1. J. Reece Roth, Industrial Plasma Engineering, volume 1, chapters 5, 9 and 12, volume 2, chapters 21-24. Institute of Physics Publishing, 1995, ISBN 0-7503-0318-2. 2. M.A. Liebermann, A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Material Processing, John Wiley and Sons, 1994, ISBN 0-471-00577-0, pp. 450-471, 512-515. 3. Katalogy elektronických součástek v tištěné a www formě. |
| Předběžná náplň práce |
| V současné době rostou požadavky na technologii výroby mikrovlnných obvodů a elementů pro přenos informací v pásmu 10 GHz. Jedna se o mikrovlnné kondenzátory, varaktory, posunovače fáze, směrové dielektrické laditelné antény atd. Základem těchto komponent jsou většinou tenké vrstvy s vysokou dielektrickou konstantou a malými ztrátami. Další vlastností těchto materiálů je možnost změny dielektrické konstanty pomocí přiloženého elektrického napětí. Téma je zaměřeno na realizaci části experimentálního systému pro přípravu a studium těchto materiálů pomocí nízkotlakého proudícího plazmatu. |