Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
| Thesis title in Czech: | Sondové metody pro diagnostiku plazmatických systémů pro depozice tenkých vrstev |
|---|---|
| Thesis title in English: | Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films |
| Key words: | plovoucí harmonická sonda, plazmatická tryska, reaktivní naprašování, pulzní výboj, in-situ impedanční spektroskopie |
| English key words: | floating harmonic probe, plasma jet, reactive sputtering, pulsed discharge, in-situ impedance spectroscopy |
| Academic year of topic announcement: | 2015/2016 |
| Thesis type: | dissertation |
| Thesis language: | angličtina |
| Department: | Department of Surface and Plasma Science (32-KFPP) |
| Supervisor: | prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc. |
| Author: | Mgr. Michal Zanáška, Ph.D. - assigned and confirmed by the Study Dept. |
| Date of registration: | 25.09.2015 |
| Date of assignment: | 25.09.2015 |
| Confirmed by Study dept. on: | 02.10.2015 |
| Date and time of defence: | 31.05.2019 09:15 |
| Date of electronic submission: | 28.03.2019 |
| Date of submission of printed version: | 28.03.2019 |
| Date of proceeded defence: | 31.05.2019 |
| Opponents: | Pavel Dvořák |
| doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D. | |
| Advisors: | doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr. |
| Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. | |
| Guidelines |
| Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. |
| References |
| Bittencourt J.A., Fundamentals of Plasma Physics, Springer, New York, 2004, ISBN 0-387-20975-1.
Hutchinson I.H., Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, 2002, ISBN 0-521-80389-6. Lieberman, M.A., Lichtenberg, A.J., Principles of plasma discharges and material processing, Wiley-Interscience, ISBN 0-471-72001-1. Další, převážně časopisecká literatura, podle dohody s vedoucím práce. |
| Preliminary scope of work |
| Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik.
http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dis-abs.php?id=313 |
| Preliminary scope of work in English |
| http://physics.mff.cuni.cz/kfpp/php/dis-abs.php?id=313 |