Difrakční mřížky jsou důležité optické elementy v mnoha optických i jiných přístrojích a jejich optická odezva silně závisí na jejich geometrických parametrech, jakými jsou perioda, šířka, hloubka a tvar vrypu, případně na jejich materiálových parametrech. Typickým příkladem optické měřící techniky je spektroskopická elipsometrie, což je přesná technika často využívaná v optické metrologii. Srovnáváním optických výpočtů (měnících vstupní geometrické parametry) s naměřenými optickými daty na mřížkách (typicky v rozsahu vlnových délek viditelného a blízkého infračerveného a ultrafialového světla) lze určit přesné rozměry a tvar mřížek, a tak vyhodnotit kvalitu jejich výrobního procesu. Elipsometrie v dostatečném spektrálním rozsahu je schopna určit nejen tvar a rozměry reliéfu, ale rovněž další detaily struktury, např. tloušťku povrchového oxidu (vytvořeného přirozenou oxidací povrchového materiálu, je-li takový materiál použit).
Náplní tohoto projektu je teoreticky se seznámit s principem optické odezvy tenkých filmů, multivrstev a difrakčních mřížek a studovat spektrální závislosti pro různé tvary a rozměry jednotlivých struktur. Jako srovnávací experimentální data budou použita měření spektroskopické elipsometrie a polarizované reflektometrie. Tato data budou použita k fitování, pomocí něhož budou určeny jednotlivé parametry vzorků. Studentovi bude vedoucím poskytnut existující výpočetní program, jejž bude moci modifikovat.
References
R. M. A. Azzam, N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light, North-Holland, Amsterdam / New York / Oxford 1977.
E. G. Loewen, E. Popov, Diffraction Gratings and Applications, CRC Taylor & Francis, New York 1997.
Vybraný soubor původních prací týkajících se tématu.
Preliminary scope of work
Difrakční mřížky jsou důležité optické elementy v mnoha optických i jiných přístrojích a jejich optická odezva silně závisí na jejich geometrických parametrech, jakými jsou perioda, šířka, hloubka a tvar vrypu, případně na jejich materiálových parametrech. Typickým příkladem optické měřící techniky je spektroskopická elipsometrie, což je přesná technika často využívaná v optické metrologii.
Preliminary scope of work in English
Diffraction gratings are important optical elements in many optical and other devices and their optical response strongly depends on their geometric parameters, such as the period, width, depth and shape of the grooves, or on their material parameters. Typical example of an optical measurement technique is spectroscopic ellipsometry, which is an accurate technique often used in optical metrology.
- assigned by the advisor